產(chǎn)品信息 Iris分段式可變形鏡 所屬類別： ? 調(diào)制器 ? 可變形反射鏡/自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng) 所屬品牌：美國(guó)Iris AO公司 產(chǎn)品簡(jiǎn)介 分段式MEMS可變形鏡，全球個(gè)由制造商提供完整校正的變形鏡，在價(jià)格，尺寸，功耗，耐用性，靈活性，精度，損傷閾值等方面具有優(yōu)勢(shì)。 關(guān)鍵詞：變形鏡，DM，deformable mirror，MEMS，可變形反射鏡，可變形鏡，PZT壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，Iris，Iris AO，磁性變形鏡，magnetics actuator Iris可變形鏡 美國(guó)Iris AO公司生產(chǎn)小型化，基于微機(jī)電技術(shù)（MEMS）的變形鏡，在價(jià)格，尺寸，功耗，耐用性和靈活性等方面具有優(yōu)勢(shì)。 Iris的產(chǎn)品設(shè)計(jì)初衷就針對(duì)大行程，價(jià)格實(shí)惠，體積小巧且具有可擴(kuò)展性等特點(diǎn)出發(fā)，以符合成像應(yīng)用領(lǐng)域的所有要求。 Iris的可變形鏡技術(shù) 由于光路偏差導(dǎo)致入射波前產(chǎn)生扭曲，該扭曲可能來(lái)自畸變媒介，如光學(xué)系統(tǒng)與成像物體之間，或者由光學(xué)系統(tǒng)本身帶來(lái)的。 變形鏡（DM）通過(guò)補(bǔ)償光路偏差達(dá)到校正波前畸變的作用。 Iris使用專利的MEMS技術(shù)生產(chǎn)變形鏡。變形鏡采用100到500個(gè)內(nèi)切孔徑從3.5mm到7.7mm的驅(qū)動(dòng)器。下圖所示為PTT489變形鏡，共489個(gè)驅(qū)動(dòng)器組成。由于尺寸小的優(yōu)勢(shì)，MEMS變形鏡在可以，工業(yè)和商業(yè)系統(tǒng)中是選擇。 Iris使用專利的MEMS技術(shù)生產(chǎn)變形鏡。變形鏡采用100到500個(gè)內(nèi)切孔徑從3.5mm到7.7mm的驅(qū)動(dòng)器。下圖所示為PTT489變形鏡，共489個(gè)驅(qū)動(dòng)器組成。由于尺寸小的優(yōu)勢(shì)，MEMS變形鏡在可以，工業(yè)和商業(yè)系統(tǒng)中是選擇。 Iris AO變形鏡由緊密封裝的鏡子單元組成的陣列，每一個(gè)鏡子單元可以在三個(gè)自由度方向上，伸縮，翻倒，傾斜獨(dú)立控制。上圖顯示安置變形鏡陣列，下圖列出了Zernike多項(xiàng)式模型下，鏡子可以實(shí)現(xiàn)光滑形變的形狀。 Iris AO變形鏡由緊密封裝的鏡子單元組成的陣列，每一個(gè)鏡子單元可以在三個(gè)自由度方向上，伸縮，翻倒，傾斜獨(dú)立控制。上圖顯示安置變形鏡陣列，下圖列出了Zernike多項(xiàng)式模型下，鏡子可以實(shí)現(xiàn)光滑形變的形狀。 除了光滑的鏡面面型外，變形鏡也能產(chǎn)生相位跳變的形狀，如相位陣列，菲涅爾反射器，甚至渦旋光。 在渦旋光應(yīng)用中，研究人員使用PTT111變形鏡（111個(gè)驅(qū)動(dòng)器，37 PTT單元）產(chǎn)生的渦旋光比使用典型的相位板產(chǎn)生的渦旋更凈（如下圖示）。由于變形鏡是主動(dòng)元件，只要不超過(guò)變形鏡行程的渦旋信息都可以實(shí)時(shí)讀入變形鏡，并獲得干凈的圖樣。 分段技術(shù)比連續(xù)式變形鏡有很多優(yōu)勢(shì)。分段式變形鏡校正時(shí)比任何其他技術(shù)的變形鏡更。區(qū)別于大部分變形鏡制造商，Iris AO可以校正變形鏡所有項(xiàng)目。（Iris AO是個(gè)可以提供完整校正的變形鏡系統(tǒng)的制造商）校正后，變形鏡可以使用直觀的位置命令（piston/tip/tilt）或者Zernike系數(shù)設(shè)定位置。 分段技術(shù)比連續(xù)式變形鏡有很多優(yōu)勢(shì)。分段式變形鏡校正時(shí)比任何其他技術(shù)的變形鏡更。區(qū)別于大部分變形鏡制造商，Iris AO可以校正變形鏡所有項(xiàng)目。（Iris AO是個(gè)可以提供完整校正的變形鏡系統(tǒng)的制造商）校正后，變形鏡可以使用直觀的位置命令（piston/tip/tilt）或者Zernike系數(shù)設(shè)定位置。 Iris的變形鏡獨(dú)立單元質(zhì)量好，分段間隙非常小，校正很，研究人員把Iris AO PTT111變形鏡（111個(gè)驅(qū)動(dòng)器，37 PTT單元）的性能表現(xiàn)作為其他連續(xù)式變形鏡的標(biāo)準(zhǔn) [REF Roorda paper]。 分立單元變形鏡質(zhì)量如此好，以至于NASA的研究人員正使用Iris AO DMs研發(fā)天基望遠(yuǎn)鏡系統(tǒng)，終將實(shí)現(xiàn)探測(cè)軌道靠近恒星的極小行星 [REFERENCE RICK LYON PAPERS 2012],[REFERENCE RICK LYON PAPERS 2010]。可見(jiàn)，Iris AO分立式變形鏡可以用于所有連續(xù)變形鏡使用的領(lǐng)域，也可以用于只能用分立式變形鏡的應(yīng)用中。 Iris AO技術(shù)的核心優(yōu)勢(shì)是能適應(yīng)很大的溫度變化，可以做各種光學(xué)鍍膜。目前，活躍領(lǐng)域是帶介質(zhì)膜的變形鏡。測(cè)試表明變形鏡可以承受300W/cm^2平均功率密度而不需要熱沉。分析表面，如果加上熱沉和輕微改良的鍍膜，變形鏡可以承受3KW/cm^2的平均功率密度。其他測(cè)試表明，對(duì)于脈沖激光，可以承受峰值功率密度1.7GW/cm^2。這些測(cè)試數(shù)據(jù)如此可喜，以致Iris AO贏得了自然基金的Phase II SBIR ，進(jìn)一步發(fā)展變形鏡在科研和工業(yè)激光器方面的應(yīng)用。 變形鏡的應(yīng)用正穩(wěn)步增長(zhǎng)，Iris AO正積極發(fā)展變形鏡以符合新應(yīng)用要求。