產(chǎn)品信息 太陽能電池激光刻槽機(jī) 所屬類別： ? 激光加工系統(tǒng) ? 飛秒激光加工系統(tǒng) 所屬品牌：立陶宛WOP公司 產(chǎn)品簡介 WOP研發(fā)的全能型太陽能電池激光刻槽機(jī)配置有飛秒紫外激光器和納秒紅外激光器執(zhí)行刻槽，刻蝕，燒制背接觸等多任務(wù)操作，超薄硅片精密制程控制獲得極高成品率，中試產(chǎn)線生產(chǎn)能力達(dá)到3MW/a。 關(guān)鍵詞：光伏電池激光加工設(shè)備，太陽能電池激光加工設(shè)備，激光刻蝕，激光劃片，Workshop of Photonics,Laser Workstation For PV SOLLAS, 激光刻槽，太陽能電池激光刻槽，晶硅電池激光刻槽，激光刻槽機(jī) 光伏電池激光工作站 WOP研發(fā)的全能型太陽能電池激光刻槽機(jī)配置有飛秒紫外激光器和納秒紅外激光器執(zhí)行刻槽，刻蝕，燒制背接觸等多任務(wù)操作，超薄硅片精密制程控制獲得極高成品率，中試產(chǎn)線生產(chǎn)能力達(dá)到3MW/a。 全能型太陽能電池激光刻槽機(jī)執(zhí)行4項工藝過程 l 選擇性刻蝕SiNx/SiO2 l 背接觸激光燒制 l 邊緣絕緣處理 l 激光打標(biāo) l 可行性測試后整合其他過程 全能型太陽能電池激光刻槽機(jī)優(yōu)勢： l 晶片更薄 l 更低破損率 l 精密深度控制 l 飛秒激光冷加工 l 參數(shù)調(diào)整便利促進(jìn)工藝開發(fā) l 選擇性刻蝕(材料響應(yīng)不同，配送控制能量不同) 產(chǎn)品特征： l 產(chǎn)品研發(fā)線生產(chǎn)能力2.5MW/a。 l 飛秒紫外和納秒紅外激光光源 l 機(jī)器視覺系統(tǒng)旋轉(zhuǎn)探測和調(diào)節(jié)激光掃描場 l 高性能掃描振鏡空間激光束控制 l 5″ 和 6″薄片加工 l 觸摸屏用戶界面控制簡單生產(chǎn)模式(SCA工程設(shè)計) l 研發(fā)模式下全功能軟件(SCA工程設(shè)計) 1. 全能型太陽能電池激光刻槽機(jī)使用飛秒紫外激光光源對SiNx/SiO2選擇性刻蝕。這種超刻蝕SiNx層的工藝對Si層的影響（直接或熱效應(yīng)）小，不但延長了載流子壽命而且可以避免微裂紋。 2. 納秒紅外光纖激光器執(zhí)行其他三個過程，在提高加工速度方面有巨大優(yōu)勢。 3. 自動硅片傳送和掃描系統(tǒng)支持5″ 和6″直徑晶體硅硅片。 4. 綜合機(jī)器視覺系統(tǒng)和調(diào)整激光束掃描場的能力了高重復(fù)性和性。 5. 系統(tǒng)配置一個一級激光安全罩和激光無塵工作環(huán)境的綜合除塵系統(tǒng)。 6. 使用擁有生產(chǎn)和研發(fā)模式的靈活的，友好的軟件ALTSE-SCA控制系統(tǒng)。 分享到 : 人人網(wǎng) 騰訊微博 新浪微博 搜狐微博 網(wǎng)易微博 相關(guān)產(chǎn)品 激光束指向穩(wěn)定系統(tǒng) 飛秒激光微加工系統(tǒng)成套組件 激光功率穩(wěn)定系統(tǒng)/噪聲抑制系統(tǒng)（NoiseEater）