產(chǎn)品信息
工業(yè)用飛秒激光加工設(shè)備
所屬類別: ? 激光加工系統(tǒng) ? 飛秒激光加工系統(tǒng)
所屬品牌:立陶宛WOP公司
產(chǎn)品簡介
工業(yè)用飛秒激光加工設(shè)備FemtoFAB是WOP專門為工業(yè)應(yīng)用而設(shè)計(jì)的飛秒激光加工系統(tǒng),它根據(jù)特定的飛秒激光微加工應(yīng)用選定配置然后進(jìn)行精密組裝,應(yīng)用領(lǐng)域包括任意合適材料激光切割,激光劃線,激光打孔和3D激光銑削(峰值功率超過2,4GW)。飛秒激光微加工設(shè)備FemtoFAB提供激光同步運(yùn)動(dòng)控制及/或綜合掃描振鏡系統(tǒng),可以滿足多種不同工業(yè)微加工應(yīng)用的速度精度參數(shù)需求。
關(guān)鍵詞:激光微加工系統(tǒng),飛秒激光微加工系統(tǒng),激光精密加工,飛秒激光加工,激光超精密加工,激光加工機(jī)床,飛秒激光加工機(jī)床,激光切割,激光劃線,激光打孔,激光銑削,激光加工,F(xiàn)emtoFAB,Workshop of photonics , Femtosecond Laser Machine
工業(yè)用飛秒激光加工設(shè)備(FemtoFAB)
工業(yè)用飛秒激光加工設(shè)備FemtoFAB是WOP專門為工業(yè)應(yīng)用而設(shè)計(jì)的飛秒激光加工系統(tǒng),它根據(jù)特定的飛秒激光微加工應(yīng)用選定配置然后進(jìn)行精密組裝,應(yīng)用領(lǐng)域包括任意合適材料激光切割,激光劃線,激光打孔和3D激光銑削(峰值功率超過2,4GW)。飛秒激光微加工設(shè)備FemtoFAB提供激光同步運(yùn)動(dòng)控制及/或綜合掃描振鏡系統(tǒng),可以滿足多種不同工業(yè)微加工應(yīng)用的速度精度參數(shù)需求。系統(tǒng)通過SCA工程軟件控制,并擁有4個(gè)1級(jí)激光安全防護(hù)罩用以防護(hù)系統(tǒng)安全。
主要運(yùn)行特性
試樣特性
材料
任何固體材料,液體聚合物
尺寸(mm)
150*150*150
光束整形和控制
脈沖選擇器
集成,自動(dòng)控制
掃描振鏡
掃描速度
達(dá)到10m/s
掃描場(mm)
5*5(4F光學(xué)系統(tǒng))
聚焦光學(xué)元件
焦距(mm)
高數(shù)值孔徑非球面透鏡或物鏡
1.45—18.4
空間光調(diào)制器
像素
1920*1080
面板尺寸(mm)
15.36*8.64
尋址
16bit
操作方式
反射式
定位
類型
XYZ,直線電機(jī),十字軸承,空氣軸承
處理速度(mm/s)(max.)
350
工作區(qū)域(mm)
160*160
分辨率(nm)
1
定位精度(nm)
±300
重復(fù)性(nm)
±50
位置穩(wěn)定性(nm)
3
樣品架
真空吸盤
激光器參數(shù)
激光介質(zhì)
Yb:KGW
波長
1028nm±5nm
功率(W)
4,6,8,10
振蕩器輸出功率(W)
0.7—1.5
脈沖能量(max.,mJ)
1
重頻(kHz)
200,600,1000
脈寬
<200fs-10ps(可調(diào));<80fs(振蕩器)
光束質(zhì)量參數(shù)
M2<1.2
輸出脈沖穩(wěn)定性
<1%RMS
諧波發(fā)生器
諧波
SH(515nm),TH(343nm),FH(258nm)
轉(zhuǎn)換效率(@200kHz)
>50%(SH);>30%(TH);>10%(FH)
軟件控制應(yīng)用功能
光束功率控制
激光輸出;機(jī)械衰減器
定位平臺(tái)控制
2.5D微加工;3D XYZ指令
控制界面
算法窗口,虛擬或GUI控制桿
圖形與矢量格式
*.bmp,*.plt
高速度
高度工業(yè)級(jí)飛秒激光系統(tǒng)擁有76MHz振蕩輸出和達(dá)到1MHz放大輸出的脈沖重頻,并且和Aerotech線性定位平臺(tái)以及掃描振鏡協(xié)調(diào)同步,在高速無熔微加工中能夠表現(xiàn)出明顯的優(yōu)勢。
納米級(jí)分辨率
高分辨率目標(biāo)定位系統(tǒng)(Aerotech XYZ線性平臺(tái))與激光光束位置控制器(掃描振鏡)以及激光脈沖選擇器協(xié)調(diào)同步控制空間,時(shí)間和能量區(qū)域,使系統(tǒng)可以亞微米分辨率下加工難處理物體。
Machine vision機(jī)器視覺
機(jī)器視覺系統(tǒng)由和Aerotech線性定位平臺(tái)同步,并為整個(gè)系統(tǒng)提供視覺的高分辨率CCD相機(jī)組成,能夠使系統(tǒng)獲取物體的位置,形狀或任一特征并對(duì)激光光束進(jìn)行相應(yīng)地調(diào)整。
SCA工程自動(dòng)化軟件
系統(tǒng)控制應(yīng)用程序(SCA)是WOP為便于控制激光微加工過程而研發(fā)的原創(chuàng)軟件。
SCA將所有硬件設(shè)備整合進(jìn)單一軟件程序中,并制作了整體解決方案,并且終用戶使用時(shí)可以將無關(guān)的設(shè)備控制程序去除。
l 非機(jī)器語言設(shè)計(jì)
l 直觀的用戶界面
l WYSIWYG (What You See Is What You Get) 軌跡預(yù)覽
l HPGL支持 – 標(biāo)準(zhǔn)打印控制語言
l 支持 .bmp,.dxf,.stl 文件格式
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