空氣軸承位移平臺(tái)
可根據(jù)客戶要求定制不同類型的位移平臺(tái)
LT系列位移平臺(tái)采用經(jīng)過特殊設(shè)計(jì)的空氣軸承,該軸承分別對剛度、承載能力和剛度進(jìn)行了優(yōu)化。與傳統(tǒng)的軸承相比,采用氣體為潤滑劑,因此所有運(yùn)動(dòng)都是無接觸的,因此在整個(gè)使用壽命之內(nèi),設(shè)備的性能保持不變,并且無需進(jìn)行特殊維護(hù)。此外位移平臺(tái)采用直線電機(jī)直接驅(qū)動(dòng),無須螺桿或齒輪進(jìn)行傳動(dòng)實(shí)現(xiàn)了非常平滑的無干擾的高精度的運(yùn)動(dòng)。通過使用天然大理石為平移臺(tái)移動(dòng)的桌面,可以實(shí)現(xiàn)非常高的重復(fù)定位精度。從而使位移平臺(tái)擁有極低的俯仰、偏擺、滾動(dòng)、偏航和線性誤差。
上海昊量光電設(shè)備有限公司推出的空氣軸承位移平臺(tái)可提供從200mm-1500mm不同行程的平臺(tái),在可提供大行程的同時(shí),精度可達(dá)到300nm,平移臺(tái)擁有優(yōu)異的分辨率,重復(fù)精度可達(dá)到100nm。
此外提供高精度的復(fù)雜運(yùn)動(dòng)和定位方案:
提供不同應(yīng)用中需要的定位平臺(tái)、控制器和相關(guān)軟件
?整體解決方案
?定制化解決方案
?復(fù)雜的多軸與并聯(lián)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)
?超精密空氣與機(jī)械軸承
?軟件集成:: LABVIEW, Tango, Epics……
產(chǎn)品特點(diǎn):
l 優(yōu)異的重復(fù)精度
l 超大行程
l 采用空氣軸承,無需維護(hù)
l 可按客戶要求進(jìn)行定制
主要應(yīng)用
l 高性能掃描
l 光學(xué)檢測系統(tǒng)
l 超精密研磨和切削
l 光伏系統(tǒng)
l 醫(yī)療系統(tǒng)
l 同步輻射或X射線
l 激光加工
l 半導(dǎo)體行業(yè)
l 晶體處理