小坂KOSAKA臺階儀   納米級探針臺階儀ET200

東莞市長安歐準(zhǔn)特

KOSAKA LAB ET 200
微細(xì)形狀測定機(jī)（探針接觸式臺階儀）
株式會社小坂研究所（KOSAKA）是于 1950 年創(chuàng)立的公司，也是日本家發(fā)表光學(xué)
杠桿表面粗糙度計(jì)，是一家具有悠久歷史與技術(shù)背景的專業(yè)廠商,主要有測定/自動(dòng)/流體三大
部門。其中測定部門為代表性單位且在日本精密測定業(yè)占有一席無法被取代的地位。
設(shè)備特點(diǎn)：
KOSAKA ET 200 基于 Windows 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供全面的形貌分析，包括半
導(dǎo)體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、
薄膜/化學(xué)涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測量的方式來實(shí)現(xiàn)高
精度表面形貌分析應(yīng)用。ET 200 能精確可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨
損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。
ET 200 配備了各種型號探針，提供了通過過程控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色 CCD
原位采集設(shè)計(jì)，可直接觀察到探針工作時(shí)的狀態(tài)，更方便準(zhǔn)確的定位測試區(qū)域。
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規(guī)格


一、測定工件：
1. 工件尺寸：φ160mm
2. 工件厚?0?3：50mm
3. 工件重量：2kg
二、檢出器（pick up ）：
1. Z方向測定范圍：Max. 600μm
2. Z方向分解能：0.1nm
3. 測定?0?7： 10uN ~500uN
4. 觸針半徑：2 μm 60 °
5. 驅(qū)動(dòng)方式：直動(dòng)式
6. 再現(xiàn)性：1σ= 1nm(全量程)、1um以下臺階重現(xiàn)性可達(dá)0.2nm以下

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三、X 軸 ( 基準(zhǔn)軸) ：
1. 移動(dòng)量(測長)：100mm
2. 移動(dòng)的真直?0?3：0.2μm/100mm
3. 移動(dòng),測定速?0?3：0.005~20mm/s
4. 線性尺(linar scale)：分解能 0.1μm
四、Z 軸：
1. 移動(dòng)量：50mm
2. 移動(dòng)速度：max.2mm/S
3. 檢出器自動(dòng)停止機(jī)能
4. 位置決定分解能：0.1μm
五、工件臺：
1. 工件臺尺寸：φ160mm
2. 機(jī)械手動(dòng)傾斜: ±2 ° ( ±1mm /150mm)
?0?7 、工件觀察：max.135 倍(可選購其它高倍?0?7CCD)
七、床臺：材質(zhì)為花崗巖石
八、防振臺( 選購)：?0?5地型或桌上型
九、電源：AC220V±10%,
50/60HZ, 300VA
十、本體外觀尺寸及重量：
W500×D440×H610mm, 120kg
3含防震臺

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