MEIVAC真空電容器的特征是
高耐電壓 真空的耐電壓高,易于實現(xiàn)小型化;
低損失 可以適用于高RF頻率;
大電流通電 無整流子結(jié)構(gòu)形式,適合大電流;
高信賴性 具有自我恢復性,可以承受瞬間過電壓;
真空電容器 MEIVAC
MEIVAC真空電容器系列,是基于明電舍的真空技術(shù)而開發(fā)的一種真空電容器。
真空電容器有以下用途
1 作為半導體薄膜制造設備的阻抗整合器
2 通信器材的發(fā)報線路,同調(diào)回路
3 誘電加熱設備的共振回路
4 各種高頻率電源的電壓增幅回路
近年來,由于半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,真空電容器的用途擴大至CVD,蝕刻,滴濺設備等半導體薄膜制造設備阻抗整合應用領(lǐng)域。
真空可變電容器
真空可變電容器是通過移動真空容器內(nèi)的電極而實現(xiàn)靜電容量的變化的電容器。
除了了裝置115MM標準的型號,還搭載了耐高壓特殊電極的黃金型號,同時通過風箱構(gòu)造以及增強材質(zhì)的大電流低扭矩型(H系列)。
標準型特點
1 壽命長
采用高強度的不銹鋼風箱,實現(xiàn)可變范圍二分之一以下的風箱壽命達100萬循環(huán)。同時通過高強度特殊螺釘構(gòu)造,在可變范圍二分之一的情況下實現(xiàn)總回轉(zhuǎn)數(shù)1000萬以上的長壽命。
2微型化
陶瓷中心栓與外圍共振器一體化從而是微型化得以實現(xiàn)。
統(tǒng)一設為全長140MM(裝置標準115MM),容易實現(xiàn)機器安裝時的可更換性。