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日本ULVAC在提供各種真空設(shè)備的同時，還提供各種真空泵，真空計測，氦氣質(zhì)樸檢漏儀等各種真空配套設(shè)備。同時提供優(yōu)良的售后服務(wù)。低溫泵也是優(yōu)勢產(chǎn)品之一。
型號 UTM-50 UTM-150 UTM-300 UTM-500 UTM-1500
入口法蘭尺寸 CF CF114 CF152 CF203 CF305
JIS VG 65 100 150 250
出口法蘭尺寸 NW16 NW25 NW40 JIS VF50
泵速度 N2 50 190 300 550 1600
(l/s) (*1, *2) H2 40 160 260 500 1650
較大壓縮比 N2 108
(*1, *3) H2 103 104
極限壓力 10-7 10-8
(Pa) (*1, *3)
軸承形式 Top Permanent magnet bearings
Bottom Pivot bearings
冷卻方法 Air-cooled/water-cooled
