產(chǎn)品推薦
1.外觀簡潔大方,整機(jī)采用PLC控制，易于操作，性能穩(wěn)定；
2.功能：通過噴灑出微小且高壓力的凈水將切割后的晶圓清洗干凈。
3.通過更改參數(shù)自適應(yīng)3、4、5、6、8英寸的晶圓；
4.通過更換臺盤能適應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)6”和8”框架（Frame）；
5.出水壓力可調(diào)，范圍：2.0~11.8MPa（20 ~ 120 kgf/cm2）；
6.主電機(jī)采用AC變頻電機(jī)，擺臂電機(jī)采用伺服電機(jī)。
7.可分開調(diào)節(jié)噴水和噴氣時主軸旋轉(zhuǎn)速度，范圍：0~3000 rpm；
8. 采用彩色觸摸屏作為人機(jī)操作界面；
9.噴頭噴灑范圍可自動根據(jù)設(shè)定的晶圓大小調(diào)節(jié)，無需人工干預(yù)；
10.具有氣體壓力和出水壓力調(diào)節(jié)功能；
11.具有氮?dú)廨斎虢涌冢?12.具有“緊急停止”功能；
13.具有系統(tǒng)運(yùn)行狀態(tài)監(jiān)控和設(shè)備故障報警功能；
14.適應(yīng)晶圓尺寸：3、4、5、6、8英寸；
15.適應(yīng)框架（Frame）：標(biāo)準(zhǔn)6、8英寸（可根據(jù)終用戶樣品設(shè)計臺盤以適應(yīng)非標(biāo)準(zhǔn)的Frame）；
16.電器部分采用SMC、Orientalmotor, Misumi、西門子、三菱等產(chǎn)品，系統(tǒng)；
可聯(lián)系魏先生
