UV 解膠機
軟件控制UV照射機UPA型,以PLC精密控制單片晶圓的UV膠膜照射過程,并隨時顯示實際執(zhí)行的各項參數(shù)。
直徑達220㎜的照射窗口,可處理8”(200㎜)的標準規(guī)格晶圓。光源可更換更大面積的照射器。
特點:
※ 桌上型設(shè)計-安裝簡單。
※ 多功能控制面板-操作方便、穩(wěn)定度高、維修容易,并可完成遠端控制的需求,依需求修改控制模式,更改操作螢?zāi)恢中偷取?
※ 全程監(jiān)視系統(tǒng)-UV 燈管狀態(tài)
1.采用UV冷光源,代替了傳統(tǒng)的高壓汞燈,經(jīng)過試驗認證,使用壽命比普通汞燈壽命長數(shù)十倍以上,安全性高,熱量小,功耗低
2.一鍵式全自動根據(jù)設(shè)定完成所有操作,在達到照射時間后會自動關(guān)閉,不需要啟動和等待時間。
3.采用觸摸屏作為人機界面,集成操作和錯誤,報警顯示
4.使用于3inch~12inch的wafer,F(xiàn)rame可以定制
功能特點:適用于半導(dǎo)體晶圓切割后的UV解膠工序
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(由於設(shè)備不斷改進,本公司對於外型更改,恕不另行通知。)
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依瓦塔(上海)精密光電有限公司
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