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本文主要介紹目視監(jiān)控、定值監(jiān)控、極值監(jiān)控和水晶振蕩監(jiān)控這幾種真空鍍膜設(shè)備鍍膜監(jiān)控方法。
1.目視監(jiān)控：使用眼睛監(jiān)控，因為薄膜在生長的過程中，由于干涉現(xiàn)象會有顏色變化，我們就是根據(jù)顏色變化來控制膜厚度的，此種方式有一定的誤差，所以不是很準(zhǔn)確，需要依靠經(jīng)驗。
2.極值監(jiān)控法：當(dāng)膜厚度增加的時候其反射率和穿透率會跟著起變化，當(dāng)反射率或穿透率走到極值點的時候，就可以知道鍍膜之光學(xué)厚度ND是監(jiān)控波長（入）的四分之一的整倍數(shù)。但是極值的方法誤差比較大，因為當(dāng)反射率或者透過率在極值附近變化很慢，亦就是膜厚ND增加很多，R/T才有變化。反映比較靈敏的位置在八分之一波長處。
3.定值監(jiān)控法：此方法利用停鍍點不在監(jiān)控波長四分之一波位，然后由計算機計算在波長一時總膜厚之反射率（或者穿透率）是，此即為停止鍍膜點。
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