使用范圍 　　　質(zhì)量流量控制器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等行業(yè)的氣流測(cè)量與控制。 1.2 質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì) 質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫(xiě)為MFC)，具備流量測(cè)量和流量控制兩種功能。 　　　質(zhì)量流量計(jì)(Mass Flow Meter 縮寫(xiě)為MFM)，只有流量測(cè)量功能，不具備氣流控制功能。 1.3 S48 300/HMT質(zhì)量流量控制器的特點(diǎn) 　　　☆ S48 300/HMT型質(zhì)量流量控制器是在引進(jìn)HORIBA STEC技術(shù)基礎(chǔ)上，結(jié)合國(guó)內(nèi)需要而研制的一種數(shù)字式質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品，采用當(dāng)今先進(jìn)的32位ARM系列處理器做數(shù)字控制。具有流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應(yīng)速度快、過(guò)沖小等特點(diǎn)。 　　　☆ RS232/485串口， Modbus（RTU）開(kāi)放協(xié)議。協(xié)議簡(jiǎn)單，兼容性強(qiáng)，易于組網(wǎng)。配合上位機(jī)，可進(jìn)行各種復(fù)雜的計(jì)量、控制操作及組態(tài)。 　　　☆耐壓高及適用于真空條件下工作。氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。氣阻較小，工作壓力范圍寬。 　　　☆主體采用不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu)，氣密材料采用PTFE、氟橡膠等。耐腐蝕性強(qiáng)。 　　　☆可任意角度安裝。 　　　☆兼容數(shù)字和模擬控制及顯示，使用方便。易于與電氣或自動(dòng)控制系統(tǒng)配合。 配合MT-50或51系列流量顯示儀，可對(duì)氣流的瞬時(shí)流量進(jìn)行測(cè)量和計(jì)量。 　　　S48 300/HMT數(shù)字流量控制器技術(shù)指標(biāo) 編號(hào) 項(xiàng)目 S48 300/HMT 1 流量規(guī)格 (10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10,20,30,50)L/min 2 調(diào)節(jié)閥類型 電磁調(diào)節(jié)閥 3 調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài) 常閉 4 安裝角度 任意 5 流量控制范圍 2%-F.S. 6 流量測(cè)量范圍 0-F.S. 7 響應(yīng)時(shí)間 ≤ 1 sec 8 工作環(huán)境溫度 5-50℃ 9 精度溫度 15-35℃ 10 精度 ±1.0% S.P.(≥30% F.S.）；±0.30% F.S.（＜30% F.S.) 11 線性精度 ±0.5%F.S. 12 重復(fù)性 ±0.2%F.S. 13 工作壓差 -5L/min (50-300)kPa(D) 10L/min-30L/min (100-300)kPa(D) 50L/min (150-300)kPa(D) 14 耐壓 3MPa(G) 15 泄漏率 ＜1×10-8Pa·m3/s(He) 16 接觸氣體材料 316L，Viton??氟橡膠，PTFE 17 管路接頭 Swagelok:Φ6mm,Φ10mm，Φ1/4″; VCR:1/4″, 3/8″ 18 供電電源 ±15V（±5%），＋15V,150mA；－15V,200mA 19 設(shè)定信號(hào) 數(shù)字：RS485/RS232 模擬：0 - 5V，輸入阻抗＞10kΩ 20 流量輸出信號(hào) 數(shù)字：RS485/RS232 模擬：0 - 5V，負(fù)載能力≤3mA 21 通訊接口 數(shù)字RS232/RS485，波特率4800/9600/19200bps， Modbus RTU 協(xié)議從機(jī)，設(shè)備號(hào)可選范圍0-15 22 重量(kg) 0.9