與傳統(tǒng)UV光源相比， EUV燈光源所提供的特性能增加和改進(jìn)紫外線在工業(yè)、化學(xué)制備及生物醫(yī)藥上的用途。單色的光譜及可選擇特定波長(zhǎng)的特性使得光刻工藝可以在聚焦更的方式下進(jìn)行。而且不會(huì)產(chǎn)生額外的熱效應(yīng)，因?yàn)镋-UV光源的頻譜中不含紅外線。 Excimer“準(zhǔn)分子”是excited dimer“受激二聚物”的縮寫。它本質(zhì)是一對(duì)原子和一個(gè)受激發(fā)的氣體原子，通常沒有被束縛在基態(tài)。 （Xe Xe* = Xe2* (Excimer)） 惰性氣體或惰性氣體與鹵素氣體的混合物可形成準(zhǔn)分子，這種準(zhǔn)分子的狀態(tài)極為短暫。在準(zhǔn)分子分解的過程中，釋放出光譜非常集中的準(zhǔn)單色UV光。產(chǎn)生的UV光都是單一的光譜線，其不同帶寬取決于所選擇的氣體。 目前，有很多種不同的準(zhǔn)分子化合物都能產(chǎn)生波段在120nm到380nm的UV光。光源只提供凈的UV光，光譜中不含紅外線 成分。 氣體放電是由高頻電磁場(chǎng)產(chǎn)生的，因此不需要電極。為防止光源發(fā)熱，高功率準(zhǔn)分子光源需要和水冷系統(tǒng)共同運(yùn)轉(zhuǎn)。 分類： 1. 半導(dǎo)體 硅晶圓的表面清潔，表面活化，軟刻蝕，預(yù)涂層處理，氧化層化學(xué)氣相沉積。 2. 平板顯示器 干燥清潔玻璃基板，LCD制造工序，表面活化，TFT陣列制程，cell制程，C/F表面處理。 3. 環(huán)境科技 產(chǎn)生臭氧，阻止空氣和水污染，生產(chǎn)制造凈水，分解含氯基的有機(jī)物。 4. 表面處理 各類樹脂和金屬表面活化。 EUV燈的優(yōu)點(diǎn)： 1. 能大量輸出真空紫外光：以較低的功耗輸出大量真空紫外光； 2. 能夠瞬時(shí)點(diǎn)亮，熄滅再點(diǎn)亮； 3. 使用高頻電源的優(yōu)點(diǎn)：通過減小電源的規(guī)格降低功耗； 4. 低功率可確保燈的使用壽命； 5. 光高分散輻射； 6. 低溫發(fā)光：通過抑制燈源發(fā)熱防止熱損壞。