功能調(diào)系列調(diào)阻機(jī) 設(shè)備特點(diǎn) ?定制化：可針對(duì)客戶產(chǎn)品不同的激光調(diào)阻應(yīng)用要求，提供具有較高價(jià)值的產(chǎn)品解決方案。 ?調(diào)阻精度高：獨(dú)特的測(cè)控技術(shù)，測(cè)量控制系統(tǒng)精度的一致性好，提升產(chǎn)品附加值；成品率高，單位成本下降。 ?軟件可編程：可輕松實(shí)現(xiàn)客戶的不同需求以及高自動(dòng)化運(yùn)行，也可作為專(zhuān)門(mén)的測(cè)試平臺(tái)，適應(yīng)性廣。 ?使用成本低：采用了先進(jìn)的激光器，無(wú)耗材，使用成本較低，長(zhǎng)期使用節(jié)約大量的費(fèi)用。 ?多功能：可實(shí)現(xiàn)陶瓷基片的激光劃線、打標(biāo)，減少設(shè)備的再投入。 ?大理石基座，可有效減小工作臺(tái)啟動(dòng)、停止和加速過(guò)程中產(chǎn)生的震動(dòng)，同時(shí)保持機(jī)臺(tái)溫度的穩(wěn)定性，性高。 主要技術(shù)參數(shù) 激光系統(tǒng) 型號(hào)規(guī)格 LT 激光波長(zhǎng) 1064nm 激光功率 10W 典型光斑尺寸 35±5μm 對(duì)焦方式 自動(dòng)，計(jì)算機(jī)程序控制 冷卻方式 風(fēng)冷 激光束定位系統(tǒng) 激光束運(yùn)動(dòng)范圍 60mm X 60mm 運(yùn)動(dòng)分辨率 0.76μm 重復(fù)定位精度 ±5μm 分步重復(fù)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng) 運(yùn)動(dòng)方式 精密閉環(huán)XY平臺(tái) 運(yùn)動(dòng)范圍 300mm*300mm 重復(fù)定位精度 ±10μm 較大運(yùn)動(dòng)速度（空載） 180mm/s 測(cè)量系統(tǒng) 電阻測(cè)量方式 四線制測(cè)量或二線制測(cè)量 電阻測(cè)量精度 中阻0.05% 電阻測(cè)量范圍 0.1Ω-100MΩ 測(cè)量速度 25μs/次 零點(diǎn)及滿程誤差校正 自動(dòng)校正 探針定義 可編程任意設(shè)定 探針板運(yùn)動(dòng) 自動(dòng)，計(jì)算機(jī)程序控制