濺射鍍膜用靶材
1、規(guī)格尺寸：長方形或園形（依客戶的要求來進行加工），常是采用多片拼接而成，常用的規(guī)格包括：100X100X10mm、190X123X14mm, Ф14吋X0.5吋等?？蔀榭蛻艏庸じ鞣N規(guī)格。.
2、產(chǎn)品度：99.999%。
3、型號為P型，摻雜劑：硼。產(chǎn)品的電阻率：常規(guī)型（經(jīng)濟型）：∠0.1Ω?cm, 特殊型：0.2--1Ω?cm.
4、精度要求：常規(guī)要求為±0.1mm.
5、表面光潔度：表面平整無明顯的刀痕。光潔度≦0.7Ra
6、硅板完整性：用肉眼觀查無明顯的裂紋及缺陷。.
7、其他：硅板邊緣及角上經(jīng)過倒角，以減少碰損的機率。
8、可為客戶進行硅板金屬化處理: 先在硅板上鍍上銀厚膜，然后再上焊錫。
9、也可為客戶進行包括銅背板的加工及焊接成整體的含銅板的硅靶。
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濺射鍍膜用靶材
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- 聯(lián)系人姓名：林安中
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北京中聯(lián)陽光科技有限公司
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