大連索尼卡公司一直致力于流量測量的研究，本款熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)用于的測量氣體的流量，具有不因溫度或壓力的波動而失準(zhǔn)、重復(fù)性好、自動測量、工作壓力范圍寬，可以在真空或高壓氣路中工作，大流量分流器不易堵塞等特點(diǎn)。 質(zhì)量流量計(jì)(FFM)／質(zhì)量流量控制器(FFC)用于精密地測量或控制氣體的質(zhì)量流量， FFM/FFC的流量傳感器是熱式質(zhì)量流量傳感器。MFM由傳感器、分流器、主通道及電路板等部分組成，用于測量流量；MFC除了具有與MFM類似的各部件之外，還有一個(gè)控制閥門及PID控制電路，它不但能測量流量，還能控制流量。 FFM/FFC的氣體通道的材料為316L不銹鋼，密封材料可選橡膠或金屬材料等。MFM/MFC原則上可以使用任何氣體，包括腐蝕性氣體，不過要注意恰當(dāng)選擇產(chǎn)品型號和密封材料。 模擬流量計(jì)產(chǎn)品的流量輸入輸出信號是0~ 5V電壓信號，個(gè)別產(chǎn)品是4~20mA電流信號，對應(yīng)于流量的0~滿量程。數(shù)字模擬兼容的流量計(jì)產(chǎn)品的流量輸入輸出信號，除了有0~ 5V模擬信號外，還具有RS232 / RS485計(jì)算機(jī)串行通訊信號。全數(shù)字化流量計(jì)產(chǎn)品通常采用現(xiàn)場總線通訊方式。 FFM/FFC測得的質(zhì)量流量等同于標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量，其質(zhì)量流量單位表示為SCCM (每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升) 或SLM (每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升)。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)指壓力為一個(gè)大氣壓(101325Pa)、溫度為0oC。 產(chǎn)品出廠時(shí)一般用氮?dú)鈽?biāo)定。用戶使用其它氣體時(shí)，可以用說明書中提供的氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)進(jìn)行讀數(shù)修正，或提出根據(jù)使用氣體進(jìn)行轉(zhuǎn)換標(biāo)定，如果可行的話，也可以要求我公司以實(shí)際使用的氣體進(jìn)行標(biāo)定。 D08系列流量顯示儀可以和質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器配合使用，由前者提供工作電源和進(jìn)行流量顯示。 【性能特點(diǎn)】 ●量程：5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM ●準(zhǔn)確度：±1%F.S ●線性度：±0.5～1% F.S ●重復(fù)精度：±0.2% F.S ●響應(yīng)時(shí)間：10S ●氣壓降： <0.01MP ●較大壓力：10MP ●工作環(huán)境溫度： 5～45℃ ●輸出信號：0～ 5.00V ●電源： 15V 50mA -15V 200mA ●外形尺寸：158.7*60*198，161.7*60*198可選 ●重量：2.5 Kg ●防爆等級：Exd II BT6