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MM60是新型FPD檢查顯微鏡,專為L(zhǎng)CD行業(yè)TFT玻璃COG導(dǎo)電粒子檢查以及6英寸及以下的集成電路硅片在線檢查和實(shí)驗(yàn)室分析設(shè)計(jì).具有成像清晰,工作距離長(zhǎng),使用便利,應(yīng)用軟件豐富的特點(diǎn).是一款性價(jià)比非常的半導(dǎo)體及微電子工業(yè)與科研用顯微鏡. 其微分干涉效果可與品牌相媲美.
1,顯微鏡觀察方法：各個(gè)倍數(shù)下均可以進(jìn)行明場(chǎng)，簡(jiǎn)易偏光觀察,微分干涉觀
察,各倍率成象清晰度好. 可作透射與反射照明觀察;
2,機(jī)械結(jié)構(gòu)：正置式 三目鏡筒 傾角30度,帶Ｃ型數(shù)碼接口
3,光學(xué)系統(tǒng): 無(wú)限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)
4,物鏡種類: 無(wú)限遠(yuǎn)光學(xué),長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)消色差,確保目鏡視場(chǎng)為22mm 時(shí)
各個(gè)鏡頭視野平坦.
5,物鏡數(shù)量和參數(shù):
1) LWDPLAN 5X: 數(shù)值孔徑(N.A) 0.14, 工作距離:20.5mm
2) LWDPLAN 10X: 數(shù)值孔徑(N.A) 0.25, 工作距離:16mm
3) LWDPLAN 20X: 數(shù)值孔徑(N.A) 0.40, 工作距離:7.8mm
4) LWDPLAN 50X: 數(shù)值孔徑(N.A) 0.55, 工作距離:7.9mm
5) LWDPLAN 100X: 數(shù)值孔徑(N.A) 0.80, 工作距離:3mm
6,目鏡: 10X,視場(chǎng)直徑(F.N) 22mm,瞳距和屈光度可調(diào),
7,光學(xué)有效放大倍率: 50X-1000X(物鏡倍率X 目鏡倍率)
8,照明器:
1)反射柯勒照明,包含3W 長(zhǎng)壽命LED 燈泡;亮度可連續(xù)調(diào)節(jié);
2)帶視場(chǎng)光闌(FS)和孔徑光闌(AS)
3)濾色片:內(nèi)裝藍(lán)色,黃色,綠色,中灰四種
4) 4¨或6
