物理氣相沉積（PVD），物理化學(xué)氣相沉積（PCVD），化學(xué)氣相沉積（CVD）,TD覆層處理是現(xiàn)代的幾種表面超硬化處理方法，其中PVD，PCVD工藝溫度低,變形較小,所形成的氮化鈦覆層HV可達(dá)2000左右,但由于這兩種方法形成的氮化鈦涂層與母體材料的結(jié)合力較差,實(shí)際應(yīng)用中,容易出現(xiàn)涂層的剝落,在使用條件較為苛刻的場合,如引伸類模具;根本就無法達(dá)到滿意的使用效果,甚至根本無效果.因此PVD,PCVD往往難以發(fā)揮超硬化合物覆層的性能優(yōu)勢(shì).高溫CVD法形成的碳化鈦覆層與TD覆層處理獲得的表面覆層硬度接近,并且高溫CVD法和TD覆層處理的覆層與基體都是冶金結(jié)合,具有PVD和PCVD無法比擬的膜基結(jié)合力,因此是目前有效的表面超硬化方法.相比而言,CVD覆層的運(yùn)行成本較高,后續(xù)處理也比較麻煩,其應(yīng)用主要集中在硬質(zhì)合金工件上去應(yīng)力回火將工件加熱至較低溫度，保溫一定時(shí)間后冷卻，使工件發(fā)生回復(fù)，從而消除殘余內(nèi)應(yīng)力的工藝稱為去應(yīng)力退火。冷形變后的金屬在低于再結(jié)晶溫度加熱，以去除內(nèi)應(yīng)力，但仍保留冷作硬化效果的熱處理，稱為去應(yīng)力退火。在實(shí)際生產(chǎn)中，去應(yīng)力退火工藝的應(yīng)用要比上述定義廣泛得多。熱鍛軋、鑄造、各種冷變形加工、切削或切割、焊接、熱處理，甚至機(jī)器零部件裝配后，在不改變組織狀態(tài)、保留冷作、熱作或表面硬化的條件下，對(duì)鋼材或機(jī)器零部件進(jìn)行較低溫度的加熱，以去除（全部或部分的）內(nèi)應(yīng)力，減小變形、開裂表面光潔度不同時(shí)的影響,如果表面光潔度不同,即使同樣加熱,其表面粗糙處和精細(xì)處的氧化皮也不相同。例如,在局部缺陷經(jīng)過清理的地方和沒清理的地方,形成氧化皮的狀況不同,故引起酸洗后工件表面不均勻。(6)爐內(nèi)氣氛的差異爐內(nèi)氣氛在各局部的不同,氧化皮的形成一也會(huì)有變化,這也是造成酸洗后不均勻的原因。所以,在加熱時(shí),爐內(nèi)各部位的氣氛必須相同。為此,也必須考慮氣氛的循環(huán)