所謂等離子體是繼固體、氣體、液體三態(tài)后，列為物質(zhì)的第四態(tài)，由正離子、負(fù)離子、電子和中性離子組成，因體系中正負(fù)電荷總數(shù)相等，故稱為“等離子體”。

等離子體按粒子溫度可分為平衡態(tài)（電子溫度=離子溫度）與非平衡態(tài)（電子溫度>>離子溫度）兩類。

非平衡態(tài)等離子體電子溫度可上萬度，離子及中性離子可低至室溫，即體系表觀溫度仍很低，故稱“低溫等離子體”，一般由氣體放電產(chǎn)生。

低溫等離子體技術(shù)是近年發(fā)展起來的廢氣處理新技術(shù)，低溫等離子體處理廢氣的原理為：當(dāng)外加電壓達(dá)到氣體的放電電壓時(shí)，氣體被擊穿，產(chǎn)生包括電子、各種離子、原子和自由基在內(nèi)的混合體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時(shí)間內(nèi)發(fā)生分解，以達(dá)到降解污染物的目的。 

低溫等離子體技術(shù)處理污染物的原理為：在外加電場的作用下，介質(zhì)放電產(chǎn)生的大量高能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發(fā)，然后便引發(fā)了一系列復(fù)雜的物理、化學(xué)反應(yīng)，使復(fù)雜大分子污染物轉(zhuǎn)變?yōu)楹唵涡》肿影踩镔|(zhì)，或使有毒有害物質(zhì)轉(zhuǎn)變?yōu)闊o毒無害或低毒低害物質(zhì)，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產(chǎn)生的電子平均能量在1eV～10eV，適當(dāng)控制反應(yīng)條件可以實(shí)現(xiàn)一般情況下難以實(shí)現(xiàn)或速度很慢的化學(xué)反應(yīng)變得十分快速。其能量傳遞過程為：

電場+電子      高能電子
                            受激電子
高能電子+分子（或原子）     受激分子   活性基因
                           自由基因
活性基因+分子（或原子）      生成物+熱
活性基因+活性基因      生成物+熱

低溫等離子技術(shù)，屬于干法處理，不需要任何吸附劑、催化劑及其他任何助燃燃料，只需采用220V或380v交流電，經(jīng)振蕩升壓裝置獲得高頻脈沖電場，產(chǎn)生高能量電子，轟擊分解廢氣中的有機(jī)分子、有毒的氣體分子。具有安全可靠、操作簡單、運(yùn)行費(fèi)用低、治理效率高、技術(shù)先進(jìn)等特點(diǎn)。