-145℃水汽捕集泵 -145℃ Water vapor cryopump 應(yīng)用原理: 在使用油擴(kuò)散泵的高真空環(huán)境中都存在著一定的殘余氣體，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸點(diǎn)的蒸汽，但其抽除殘余氣體的能力低，時(shí)間長(zhǎng)，而且所有殘余氣體還是工件的污染源，從而使產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量受到影響。深冷泵則是解決這類(lèi)問(wèn)題的上佳選擇。 深冷泵的工作原理：將一個(gè)能到-120℃以下的制冷盤(pán)管，放置在真空室中或油擴(kuò)散泵的泵口，通過(guò)其表面的低溫冷凝效應(yīng)，迅速捕集真空系統(tǒng)的殘余氣體。從而大大縮短抽真空的時(shí)間（可縮短60-90%的抽氣時(shí)間）、獲得潔凈的真空環(huán)境（真空度可提高半個(gè)數(shù)量級(jí)，達(dá)到10-8 Torr、10-5 Pa)。 在實(shí)際應(yīng)用當(dāng)中，根據(jù)所放的位置不同可以分為兩類(lèi)（見(jiàn)圖）： 1、水汽捕集器 它的制冷盤(pán)管經(jīng)常被安裝在高閥與真空腔之間或真空腔內(nèi)、卷繞鍍膜上下室內(nèi)等部位。適用于塑料低溫鍍膜、卷繞鍍膜等被鍍膜材料放氣量較大的場(chǎng)合。盤(pán)管需要有加熱除霜裝置，使盤(pán)管每次開(kāi)門(mén)之前恢復(fù)到常溫，避免低溫盤(pán)管從大氣中吸收大量的水汽而結(jié)霜，影響下次抽真空。 2、低溫冷阱 放在油擴(kuò)散泵的泵口，高閥以下，它主要功能是防止油擴(kuò)散泵返油，同時(shí)也可以加快抽速、提高真空度。由于系統(tǒng)處于真空狀態(tài)，無(wú)需除霜裝置。 根據(jù)需要,二者可以分別安裝也可以同時(shí)安裝. 本公司研發(fā)生產(chǎn)的-145℃深冷水汽捕集泵，采用單臺(tái)壓縮機(jī)、自動(dòng)復(fù)疊制冷方式、品牌壓縮機(jī)及制冷配件、環(huán)?；旌闲椭评鋭┥a(chǎn)，替代液氮，節(jié)約成本。具有制冷速度快、效率高、溫度低、維護(hù)方便等特點(diǎn)，其性能指標(biāo)在國(guó)內(nèi)處于地位，達(dá)到甚至超過(guò)國(guó)際先進(jìn)水平。 主要的性能特點(diǎn) 1、快速吸附水、油蒸汽、可縮短排氣時(shí)間60-90%； 2、降溫迅速，3分鐘內(nèi)制冷到-120℃，較低可到-150℃； 3、2分鐘熱氣除霜，迅速回溫，5分鐘可再降溫; 4、一臺(tái)設(shè)備可設(shè)計(jì)兩路負(fù)載輸出； 5、壓縮機(jī)，環(huán)?；旌闲椭评鋭? 6、完善的自動(dòng)化控制； 7、具有兩路負(fù)載入口和出口溫度顯示、本機(jī)溫 度顯示； 8、當(dāng)待機(jī)溫度到達(dá)后有指示燈提示，可以開(kāi)始制冷； 9、除霜溫度自由設(shè)定； 10、具有水溫溫度、排氣溫度顯示； 11、缺水、水溫過(guò)高報(bào)警； 12、壓縮機(jī)排氣過(guò)高、壓力過(guò)高保護(hù)； 13、電源斷電、缺相報(bào)警； 14、可本地、遠(yuǎn)程控制自由轉(zhuǎn)換； 15、R232計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)接口，計(jì)算機(jī)可讀取溫度數(shù)據(jù)及控制。 -145℃水汽捕集泵 -145℃ Water vapor cryopump 型 號(hào) TH-145-3P TH-145-5P TH-145-7P TH-145-10P TH-145-12P TH-145-15P 壓縮機(jī)功率(KW) 2.8 4.6 6.3 8.5 10.1 12.3 工作溫度（℃） -120℃至-150℃ 抽氣速度（l/s） 30600 51000 73,000 101,000 153,000 250,000 制冷量（W） 300 500 1200 1800 2500 3500 冷凝管表面積(m2) 0.15 0.3 0.5 0.7 1.0 2. 0 冷凝管長(zhǎng)度 8m,φ6mm 10m,φ10mm 12m,φ12mm 14m,φ16mm 24m,φ16mm 40m,φ16mm 預(yù)冷時(shí)間（min） ≤30 ≤30 ≤30 ≤30 ≤40 ≤40 降溫時(shí)間（min） ≤5 ≤5 ≤5 ≤5 ≤6 ≤7 除霜時(shí)間(min) ≤3 ≤3 ≤3 ≤3 ≤3 ≤3 再降溫時(shí)間(min) ≤5 ≤5 ≤5 ≤5 ≤6 ≤6 適用油擴(kuò)散泵徑（mm） ≤300 ≤500 ≤800 ≤1000 雙路輸出 雙路輸出 冷卻方式 風(fēng)冷、水冷(t≤30℃) 水冷(t≤30℃) 水冷(t≤30℃) 水冷(t≤30℃) 水冷(t≤30℃) 適用腔體直徑（mm） ≤900 ≤1300 ≤1500 ≤1700 ≤2000 冷凝盤(pán)管的制作 根據(jù)設(shè)備的實(shí)際情況，我們可以為您制作不同形狀的冷凝盤(pán)管。 輸入、輸出的接口 冷凝盤(pán)管從真空腔內(nèi)穿過(guò)腔壁時(shí)，由于管道溫度與腔壁溫差較大，如果直接焊接，冷量將會(huì)有較大損失，腔壁結(jié)霜嚴(yán)重。這就需要一個(gè)長(zhǎng)約20厘米的薄壁不銹鋼管做成的絕熱裝置來(lái)解決，它可以做成活口（見(jiàn)圖），也可以不用密封墊，直接焊接到真空腔壁。