AS-500 MICROCAP電容位移傳感器
應(yīng)用范圍:
適于半導(dǎo)體、磁盤驅(qū)動器、機(jī)械用具、電子工業(yè)
●位移、●厚度、●同軸度、●振動、●尺寸大小、●平坦度、
●內(nèi)外徑、●發(fā)動機(jī)振動
放大器規(guī)格:
特點(diǎn)
AS-9000
AS-500
MicroCap
通道數(shù)
多 2通道
多6通道
1通道
1測量范圍
0 to 12.5mm (0 to 0.5 in.)
2分辨率(%滿量程) RMS
0.00%
3精度(%滿量程)
± 0.02%
頻率響應(yīng)
標(biāo)準(zhǔn)的濾波器模塊有(10Hz, 100Hz, 200Hz, 500Hz, 1kHz, 2kHz or 5kHz)
可選組件
穩(wěn)定穩(wěn)定性
± 0.01% FSR/ °C
模擬輸出 0-10 Vdc
BNC4
BNC4
歐洲標(biāo)準(zhǔn)螺絲端子
輸出阻抗
50
電力需求
85到265 Vac
47到 440Hz
85到 265 Vac
47到 440 Hz
可選12 Vdc
± 15 Vdc
求和放大器
標(biāo)準(zhǔn)的雙通道單位
插板卡式
沒有
操作溫度
4 to 38°C
尺寸
240x160x50mm
175x140x340mm
150x60 x13mm
重量
2.3 kg
4.6 kg
0.11 kg
(標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格的電容探頭以達(dá)到納米級別的分辨率并且有好的穩(wěn)定性)
電容位移傳感器的應(yīng)用
顯微鏡聚焦 ?鏡頭的對準(zhǔn) ?測量零件的外形 ?測量零件的傾斜 ?測量半導(dǎo)體硅片的厚度 ?測量壓電平臺的位移 ?測量振動 ?測量電腦硬盤運(yùn)行和厚度 ?測量剎車盤的翹曲和厚度 ?測量金屬板的厚度 ?測量光伏晶圓
MTI 標(biāo)準(zhǔn)探頭的特點(diǎn)
● 電纜和探頭使用的的溫度范圍: -130oC -- 200oC (也有高溫探頭,在下一頁有介紹)
● 連接頭的使用溫度范圍: -65oC -- 85oC
● 精度: 高于滿量程的±0.02% (當(dāng)探頭和放大器經(jīng)過和被測物校準(zhǔn)后)
● 標(biāo)準(zhǔn)放大器濾波帶寬: 500Hz
● 可選濾波帶寬 10Hz, 100Hz, 1kHz, 2kHz, 5kHz 以及 660Hz-Bessel
● 1分辨率 RMS: (0.000423 x 濾波帶寬 Hz 1.2) x 0.00002 x 量程
● 探頭和電纜互換性: ± 0.5%(在沒有經(jīng)過校準(zhǔn)的情況下互換)
● 承受壓力范圍: 14MPa- (不適用于高溫探頭)
● 材料: 不銹鋼結(jié)構(gòu),內(nèi)部沒有電子元器件
● 帶線纜的探頭,同軸電纜長度: 2.4m (可選延長線纜.)