CVD真空氣氛管式爐應(yīng)用領(lǐng)域:
CVD真空氣氛管式爐廣泛適用于高、中、低溫CVD工藝,例如:碳納米管的研制、晶體硅基板鍍膜、納米氧化鋅結(jié)構(gòu)的可控生長(zhǎng)等等,也可適用于金屬材料的擴(kuò)散焊接及真空或保護(hù)氣氛下熱處理
CVD真空氣氛管式爐的技術(shù)指標(biāo):
設(shè)備型號(hào) | CVD(D)-06/60/3 | CVD(Z)-06/30/1 | CVD(G)-07/50/2 | CVD(G)-09/50/1 |
限高溫度 | 1050℃ | 1350℃ | 1650℃ | 1650℃ |
使用溫度 | RT-1000℃ | 850~1300℃ | 1000~1600℃ | 1000~1600℃ |
控制精度 | ±1.5℃ | ±1.5℃ | ±1.5℃ | ±1.5℃ |
溫區(qū)個(gè)數(shù) | 3 | 1 | 2 | 1 |
加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 600mm | 300mm | 500mm | 500mm |
爐管尺寸 | 60x1400mm | 60x1000mm | 70x1450mm | 90x1450mm |
爐管材料 | 石英管 | 剛玉管 | 剛玉管 | 剛玉管 |
發(fā)熱元件 | 電阻絲 | 電阻絲/硅碳棒 | 硅鉬棒、電阻絲 | 硅鉬棒 |
裝機(jī)功率 | 4.5kw | 3kw/8kw | 10kw | 12kw |