SET3/1064/532/355，SFT3：激光刻阻機/激光修阻機/激光調(diào)阻機 激光調(diào)阻機的產(chǎn)品特點： --調(diào)阻精度高：先進的激光器提供了TEM00高光束質(zhì)量和極細(xì)線寬的激光束；四線制高速測量系統(tǒng)，測量時間僅為25us；擁有軟件預(yù)調(diào)誤差補償功能；　 --調(diào)阻速度快：先進的激光器擁有極高的重復(fù)頻率，在光斑重疊率的情況下能擁有很高速度；德國掃描振鏡，掃描速度極快；高精度分步重復(fù)機構(gòu)，空氣軸承，移動速度及加速度快；　 --性高：整機配置核心器件均采用原裝配置；采用花崗巖臺座，穩(wěn)定；　 --功能強大：擁有溫度實時補償功能；同時具有激光劃片和打標(biāo)功能；　 --運行及維護成本低廉：采用半導(dǎo)體端面泵浦或光纖激光器；使用壽命長，性能穩(wěn)定；電光轉(zhuǎn)換效率高，節(jié)約用電成本；采用風(fēng)冷系統(tǒng)，無須外置冷卻設(shè)備；操作簡單，無須高額培訓(xùn)成本；　 激光調(diào)阻機技術(shù)參數(shù)：　 --激光器系統(tǒng)：　 激光類型：半導(dǎo)體端面泵浦激光器 / 光纖激光器　 激光波長：1064/532/355nm　 激光平均功率：10W / 20W / 7W(UV355)　 激光頻率：200Hz-50KHz　 典型光斑尺寸：30μm　 實際切口取決于材料、光學(xué)器件和波長；可根據(jù)需要選配532綠激光或355紫外激光小光斑達(dá)12μm　 泵浦源使用壽命：20,000—100，000小時　 冷卻方式：風(fēng)冷　 對焦方式：計算機程序控制　 --激光束定位系統(tǒng)：　 激光束運動范圍：75mmX75mm（可選配其他規(guī)格）　 點到點運動時間：5ms（典型）　 較大速度：7000mm/s　 重復(fù)定位精度：2.5μm　 激光束小步進：0.76μm　 --圖像監(jiān)視系統(tǒng)：　 監(jiān)視方式：激光同軸監(jiān)視　 較大放大倍數(shù)：>100倍　 圖像監(jiān)視顯示屏：19寸液晶　 --測量系統(tǒng)：　 激勵方式：電流/電壓激勵　 恒流源：0.01μA~100mA計算機程控選擇　 恒壓源：0~20V計算機程控選擇（可選其它電壓范圍）　 電阻測量方式：四線制加電流測電壓　 直流電壓測量：10mV~10V（滿程電壓）　 調(diào)節(jié)對象發(fā)熱控制：程序可設(shè)定　 電阻測量精度：低阻：<0.05% 1%/R （R<100Ω） 　 中阻：<0.05%　 高阻：<0.05% 0.02%R（R>0.1MΩ）　 電阻測量范圍：0.01Ω-500MΩ　 電阻測量速度：25μs　 直流電壓分辨率：0.16μV（在10mV滿量程條件下）　 探針板：44針11組四線制（可選其它規(guī)格）　 探針板運動：計算機程序控制　 --計算機及軟件系統(tǒng)：　 工業(yè)控制計算機（雙核），17寸液晶　 操作系統(tǒng)：Windows XP　 VB平臺開發(fā)的可視化應(yīng)用軟件，界面友好，功能強大　 --分步重復(fù)運動系統(tǒng)：　 運動XY范圍：290x260mm　 運動分辨率：1μm　 定位精度：小于6μm（帶誤差補償）　 重復(fù)定位精度：小于3μm 　 較大運動速度：900mm/s　 具有溫度補償?shù)裙δ堋? --非接觸溫度測量：　 溫度測量精度：0.2℃　 調(diào)阻溫度修正：計算機程序控制　 --其它技術(shù)指標(biāo)：　 供電電壓：220V AC　 整機功耗：小于1000W　 激光調(diào)阻機應(yīng)用和市場：主要應(yīng)用于厚膜、薄膜電路的精密調(diào)節(jié)。廣泛應(yīng)用于厚膜混合集成電路、電子元器件、汽車電器、傳感器、科研、片式電阻等行業(yè)。