一、去離子水基本概況

去離子水制取工藝原理分為源水預(yù)處理系統(tǒng)、反滲透系統(tǒng)和超化系統(tǒng)三大部分。

1、源水預(yù)處理系統(tǒng)

PP纖維濾芯：可過(guò)濾精度達(dá)5μm。可有效濾除源中的泥沙。鐵銹，藻類(lèi)等顆粒類(lèi)雜質(zhì)。

AC活性炭濾芯：選用椰殼為原料，采用物理法精制而成。具有耐磨強(qiáng)度好，吸附性能高，

使用時(shí)間久等特點(diǎn)，對(duì)凈水、水的制造有好的效能，是熱電、啤酒、飲料及水設(shè)備的理想材料。

KDF復(fù)合濾芯：內(nèi)裝度銅鋅合金 椰殼活性炭濾料。

軟化濾芯：有效地軟化水質(zhì)，去除水中的氯離子鈣鎂離子等。

2、反滲透系統(tǒng)

RO（reverse osmosis）反滲透技術(shù)是利用壓力差為動(dòng)力的膜分離過(guò)濾技術(shù)。源于美國(guó)二十世紀(jì)六十年代宇航科技研究。RO反滲透膜孔徑小至納米級(jí)（1納米=10-9米），在一定的壓力下，H20分子可以通過(guò)RO膜，而源水中的無(wú)機(jī)鹽離子，有機(jī)物，膠體，細(xì)菌，熱源等雜質(zhì)無(wú)法通過(guò)RO膜，從而使可以透過(guò)的水和無(wú)法透過(guò)的濃縮水嚴(yán)格分開(kāi)；

RO膜對(duì)高價(jià)離子，膠體細(xì)菌及分子量大于300Dalton的有機(jī)物（包括熱源）去除率高達(dá)99%以上，對(duì)低價(jià)離子（NA，K0去除率達(dá)90-95%，當(dāng)源水電導(dǎo)率《350μs/cm。RO水電導(dǎo)率通常〈=5μs/cm。符合實(shí)室三級(jí)用水標(biāo)準(zhǔn)。反滲出透法是達(dá)到90-95%雜質(zhì)去除率經(jīng)濟(jì)的方法。同時(shí)也是超水系統(tǒng)較好的前處理方法。

3、超化系統(tǒng)

離子交換樹(shù)脂利用H 交換濾除進(jìn)水中的陽(yáng)離子，利用OH^-交換濾除進(jìn)水中的陰離子，樹(shù)脂中置換出的H 和OH^-結(jié)合后生成H₂O，超化柱裝填美國(guó)陶氏UPW-450超水專(zhuān)用拋光樹(shù)脂，其產(chǎn)水電阻率可達(dá)18.2MΩ.cm。

二、去離子水處理指標(biāo)：

去離子水電阻率達(dá)到18MΩ*cm（25℃）的水。常用于集成電路工業(yè)中用于半導(dǎo)體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制備和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固態(tài)電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路、真空管等的制作也都要使用超水。

①無(wú)機(jī)電離雜質(zhì)，如 Ca2 、Mg2 、Na 、K 、Fe2 、Fe3 、Mn2 、Al3 、HCO-、CO32-、SO42-、Cl2、NO3-、NO2-、SiO32-、PO43-等；

②有機(jī)物，如烷基苯磺酸、油、有機(jī)鐵、有機(jī)鋁以及其他碳?xì)浠衔锏龋?/p>

③顆粒，如塵埃、氧化鐵、鋁、膠體硅等；

④微生物，如細(xì)菌、浮游生物和藻類(lèi)等；

⑤溶解氣體，如N2、O2、CO2、H2S等。超水中電離雜質(zhì)的含量用水的電阻率數(shù)值來(lái)衡量。理論上，水 中只有H離子和OH離子參加導(dǎo)電。在25℃時(shí)超水的電阻率為 18.3（兆歐