技術(shù)參數(shù)(1) 類型: CCI 干涉(相干相關(guān)干涉)
(2) 分辨率: 0.1 A
(3) 測量點數(shù): 1,048,576 ( 1024 x 1024 點陣 )
更詳細(xì)參數(shù)和有關(guān)應(yīng)用問題請垂詢辦事處產(chǎn)品負(fù)責(zé)人。
主要特點?專利的相干相關(guān)算法
?0.01nm分辨率
?10-20秒測量時間
?RMS重復(fù)性:0.03A
儀器介紹Talysurf CCI三維非接觸形貌儀采用CCI(專利技術(shù)的相干相關(guān)算法)干涉原理,可高精度測量表面形貌、表面粗糙度及關(guān)鍵尺寸,并計算關(guān)鍵部位的面積和體積。主要應(yīng)用于數(shù)據(jù)存儲器件,半導(dǎo)體器件,光學(xué)加工以及MEMS/MOEMS技術(shù)以及材料分析領(lǐng)域。
分析方法1.Noncontact measurement for 3D surface profiling