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KW4A 型甩膠機 勻膠機
----------中國科學(xué)院微電子研究所專用儀器
應(yīng)用范圍：
勻膠機適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導(dǎo)電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。該產(chǎn)品具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動迅速等優(yōu)點，并能半導(dǎo)體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配真空泵一起使用。
產(chǎn)品特色
(一)該設(shè)備采用國際先進技術(shù),使用配件(韓國定子和轉(zhuǎn)子，直流電機)使高轉(zhuǎn)速加速度更加穩(wěn)定,控制更加.電機采用新型直流永磁電機抗電磁干擾.
(二)定子和轉(zhuǎn)子分開供電.定子用穩(wěn)定電源供勵磁電流,轉(zhuǎn)子用開關(guān)電源調(diào)速,它比可用控硅調(diào)速優(yōu)越得多,轉(zhuǎn)速在1000~8000轉(zhuǎn)/分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定.在未取得真空的狀態(tài)不會轉(zhuǎn)到,了使用的性.
(三)本勻膠機有兩個轉(zhuǎn)速.在啟動之后,先以低速運轉(zhuǎn),使膠攤開,然后自動變到高速運轉(zhuǎn).兩種轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時間分別可調(diào).
(四)本勻膠機測速采用光電的辦法,在光電測速盤的邊上有三個缺口,(反射帶和吸收帶)分布于盤的周圍，盤邊的下面安裝有光電開關(guān),光源照到光電經(jīng)反射到接收器,產(chǎn)生光電脈沖,測速盤旋轉(zhuǎn)一周,產(chǎn)生三個脈沖.閘門由秒脈沖電路產(chǎn)生,周期為兩秒.當(dāng)馬達旋轉(zhuǎn)時,如果計時器在2秒內(nèi)計的得數(shù)是n,則每分鐘應(yīng)該轉(zhuǎn)了n/(2x3)=n/6轉(zhuǎn),每分鐘旋轉(zhuǎn)(n/6)x60=10n轉(zhuǎn).故計數(shù)器就是每分鐘轉(zhuǎn)速,只不過差一個數(shù)量級.
(五)
