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FFU風機過濾單元，行業(yè)內也俗稱FFU風機過濾器機組。FFU(Fan Filter Unit)是風機和過濾器的組合，也可以稱為“自帶風機的過濾設備”。FFU通常安裝在潔凈室的送風末端，一般放置在吊裝的”干式“墊片密封龍骨框架上。FFU風機過濾單元上面部分為風機模塊，下面部分為過濾器。根據(jù)潔凈度要求不同，過濾器可分為不同等級的(HEPA)或超(ULPA)過濾器，為潔凈室提供潔凈空氣。風機除了要克服FFU下部過濾器的阻力，還要克服整個循環(huán)風所有通道部件的阻力，從而維持設定的運行風速。FFU系統(tǒng)具有設計施工簡便，風速調節(jié)靈活，潔凈區(qū)易于變更等特點，因此已成為工業(yè)潔凈室的流行系統(tǒng)形式之一。FFU風機過濾單元是自帶動力的，它不受區(qū)域性的限制。偌大的潔凈廠房里，可根據(jù)需要，區(qū)分控制。而且，伴隨著半導體生產(chǎn)工藝的變化，廠房布局必然要做相應調整，F(xiàn)FU風機過濾單元的靈活性使得這樣的調整變得輕松，而且不會帶來二次投資。從理論上講，一時不用的FFU風機過濾單元可以拆下來，密封好，妥善保管，保持下次使用。FFU風機過濾單元由于本身能提供靜壓，使得送風靜壓箱對于潔凈廠房負壓。這樣，靜壓箱內的顆粒就不會受到壓力的用而泄露到潔凈區(qū)里，使得密封變得很簡單而且安全。是引用FFU風機過濾單元省掉了風管的制作和安裝，因為風管在潔凈工程中，占掉很大的建設周期，任何一個投資者都希望投資能盡快帶了收益，選用FFU風機過濾單元作為了一種可能。雖然在選用FFU風機過濾單元時，初期投資使用風管通風高，但它在后期運行中，突出的表現(xiàn)出節(jié)能、免維護等特點。用在循環(huán)減少40%的運行成本。FF風機過濾單元作為一種凈化設備，目前在各種潔凈工程中廣泛應用!
