北京創(chuàng)世杰公司提供美國Trion公司的Orion III系列等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)系統(tǒng)、Phantom III系列反應(yīng)離子刻蝕機(jī)(RIE,DRIE,ICP等)和Apollo型等離子去膠機(jī)。美國Trion公司為化合物半導(dǎo)體、MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))、光電器件以及其他半導(dǎo)體市場提供多種等離子工藝設(shè)備。美國TRION公司提供的Orion III系列等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)系統(tǒng)、Phantom III系列反應(yīng)離子刻蝕機(jī)(RIE,DRIE,ICP等)和Apollo型等離子去膠機(jī)在業(yè)內(nèi)以系統(tǒng)占地面積小,成本合理而著稱,且設(shè)備及工藝性和穩(wěn)定性久經(jīng)考驗。美國TRION公司提供的Orion III系列等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)系統(tǒng)、Phantom III系列反應(yīng)離子刻蝕機(jī)(RIE,DRIE,ICP等)和Apollo型等離子去膠機(jī)系列產(chǎn)品既包含成套的批量生產(chǎn)設(shè)備,也有用于科研開發(fā)的系統(tǒng)。