產(chǎn)品簡(jiǎn)述:該系列設(shè)備為鈣鈦礦太陽(yáng)能電池、OLED、鋰電池、金屬電極薄膜等產(chǎn)業(yè)研發(fā)專用設(shè)備,廣泛應(yīng)用于高校、科研院所的不同材料薄膜制備研究。也可用于生產(chǎn)線前期工藝試驗(yàn)等。
設(shè)備特點(diǎn):
前后開(kāi)門密封,前滑動(dòng)開(kāi)門操作輕便,氣動(dòng)自動(dòng)鎖緊;開(kāi)后門裝料/檢修時(shí)大氣不會(huì)進(jìn)入手套箱環(huán)境,后門關(guān)閉時(shí)可直接通過(guò)把手鎖緊密封。
設(shè)備采用防湍流設(shè)計(jì)防止揚(yáng)塵,提高膜層質(zhì)量。
溫控有機(jī)蒸發(fā)源采用控溫式束源爐結(jié)構(gòu)擋板一體化設(shè)計(jì)有機(jī)材料不被污染,不僅角度可調(diào),均勻性好還可通過(guò)膜厚儀聯(lián)動(dòng)控制實(shí)現(xiàn)速率控制、摻雜等;
設(shè)備兼容有機(jī)/無(wú)機(jī)蒸發(fā),多元共蒸復(fù)合膜/分蒸獲得多層膜
蒸發(fā)源的搭配及數(shù)量可根據(jù)用戶時(shí)間需要選配,性能穩(wěn)定;
樣品臺(tái)可升降調(diào)整源-基片距離,有效節(jié)約貴重材料,降低實(shí)驗(yàn)成本;