AGV-SPO高性能單軸點(diǎn)振鏡
Aerotech推出的高精度、開(kāi)放式框架、熱穩(wěn)定性好振鏡可用于各種激光加工和刻蝕應(yīng)用。
設(shè)計(jì)優(yōu)異性
· 比傳統(tǒng)的2D掃描儀更大的視野,簡(jiǎn)化了較大零件的處理
· 空氣和水冷卻選件可提供熱穩(wěn)定性并提高長(zhǎng)期精度
適用于各種激光波長(zhǎng)的多種鏡面處理選擇設(shè)計(jì)配置
在整個(gè)視場(chǎng)中將光斑失真降至zui低,從而將質(zhì)量的激光加工零件的加工偏差降至zui低
AGV-SPO可提供多種光學(xué)涂層和聚焦光學(xué)器件,以支持各種常用的激光波長(zhǎng)和焦距。為了滿足其他需求,Aerotech可以根據(jù)要求為AGV-SPO提供定制的光學(xué)元件和光學(xué)安裝功能。AGV-SPO可以配置有風(fēng)冷鏡,水冷電機(jī)或兩者。這些主動(dòng)冷卻功能有助于在存在由激光引起的熱干擾以及劇烈運(yùn)動(dòng)的情況下,保持工作平面的準(zhǔn)確性。
這款新型Nmark AGV-HPO掃描振鏡在視野范圍內(nèi)可達(dá)到幾個(gè)數(shù)字位、微米級(jí)的精度,如果與Aerotech的Nmark CLS掃描器配合使用,則能夠提供超過(guò)24位分辨率的業(yè)界領(lǐng)先精度。Aerotech的AGV-SPO單樞軸檢流計(jì)掃描儀可替代傳統(tǒng)的兩鏡振鏡掃描儀。AGV-SPO源自流行的AGV-HPO掃描儀,可為關(guān)鍵的激光微加工應(yīng)用提供更大的視野并減少點(diǎn)畸變。從1970年起,AEROTECH就為用戶設(shè)計(jì)和制造zui高性能的運(yùn)動(dòng)控制(motion control)和定位系統(tǒng)(positioning systems)。用戶覆蓋世界各地的工業(yè),政府,科學(xué)和研究機(jī)構(gòu)。AEROTECH精密的運(yùn)動(dòng)控制產(chǎn)品(motion control products)為當(dāng)前要求苛刻的市場(chǎng)如:醫(yī)療設(shè)備和生命科學(xué)(medical device and life sciences), 半導(dǎo)體和平板顯示(medical device and life sciences), 光子學(xué)(photonics), 汽車(automotive), 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)(data storage), 激光處理(laser processing), 軍shi/航空宇宙(military/aerospace), 電子制造和測(cè)試(electronic manufacturing and test), 裝配(assembly), 研究和開(kāi)發(fā)(research and development),及其他需要高精度,高生產(chǎn)能力運(yùn)動(dòng)解決方案的應(yīng)用提供了zui高的性能。
高級(jí)編程優(yōu)勢(shì):AGV-SPO充分利用了Aerotech的所有先進(jìn)運(yùn)動(dòng)和位置同步輸出(PSO)功能能是為具有傳統(tǒng)振鏡和伺服平臺(tái)的激光加工應(yīng)用開(kāi)發(fā)的。諸如“加速限制”之類的輪廓功能可用于自動(dòng)減小急轉(zhuǎn)彎或小半徑時(shí)的速度,以程度地減小過(guò)沖??梢曰趲в蠵SO的反射鏡的位置反饋來(lái)觸發(fā)激光,以確保隨著掃描儀速度的改變,一致的光斑重疊。
Aerotech的無(wú)限視場(chǎng)(IFOV)功能無(wú)縫地結(jié)合了伺服和掃描儀的運(yùn)動(dòng),從而在整個(gè)伺服平臺(tái)的整個(gè)行程范圍內(nèi)擴(kuò)展了掃描儀的標(biāo)記能力.
光斑失小,大視野
獨(dú)特的光學(xué)設(shè)計(jì)可有效控制光束入射光瞳,使其與X和Y掃描儀運(yùn)動(dòng)保持一致,從而增加了掃描儀系統(tǒng)的有效數(shù)值孔徑。這種設(shè)計(jì)直接為給定的焦距提供了更大的視野,并減少了整個(gè)工作區(qū)域上的光斑失真。這些優(yōu)勢(shì)意味著AGV-SPO能夠更快,更一致地處理更大的零件。
模型 | AGV14SPO | |
光學(xué)性能 | ||
光束孔徑 | 14毫米 | |
掃描角度 | ±20° | |
光束位移 | 35毫米 | |
抖動(dòng)(zui小增量運(yùn)動(dòng))(2) | RMS 0.3微弧度 | |
準(zhǔn)確性 | 50微弧度pk-pk | |
重復(fù)性(3) | 均方根值 0.6 µrad | |
增益誤差 | 0.05弧度 | |
非線性度 | 0.005% | |
動(dòng)態(tài)表現(xiàn) | ||
追蹤誤差 | 0微秒 | |
峰值加速度(4,5) | 60,000 m / s 2 | |
連續(xù)加速(4,6) | 20,000 m / s 2 | |
定位速度(4) | 50 m /秒 | |
處理速度(4、7、8) | 5 m / s5 | |
跳躍和穩(wěn)定時(shí)間,移動(dòng)1毫米( 4,9 ) | 700微秒 | |
穩(wěn)定性 | ||
長(zhǎng)期漂移 | 偏移量 | 10 µrad / 12小時(shí) |
15微弧度/ 24小時(shí) | ||
獲得 | 10 ppm / 24小時(shí) | |
熱漂移 | 偏移量 | 20微弧度/°C |
獲得 | 1 ppm /℃ | |
機(jī)械規(guī)格 |
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