SET3/1064/532/355，SFT3：激光修阻機,激光調(diào)阻機,激光微調(diào)機 激光修阻機的成功研制對推動我國微電子行業(yè)的產(chǎn)業(yè)升級起到重要作用。激光調(diào)阻機是利用激光技術(shù)對厚、薄膜電路進(jìn)行修調(diào)，以得到高精度的電阻值或的輸出信號。公司生產(chǎn)的激光調(diào)阻機全部擁有自主知識產(chǎn)權(quán)，采用量的激光源和精密的測量系統(tǒng)，空氣懸浮平面運動機構(gòu)，各項性能指標(biāo)達(dá)到先進(jìn)水平，是取代產(chǎn)品之。 激光調(diào)阻機技術(shù)參數(shù)：　 激光器系統(tǒng)：　 激光類型：半導(dǎo)體端面泵浦激光器 / 光纖激光器　 激光波長：1064/532/355nm　 激光平均功率：10W / 20W / 7W(UV355)　 激光頻率：200Hz-50KHz　 典型光斑尺寸：30μm　 實際切口取決于材料、光學(xué)器件和波長；可根據(jù)需要選配532綠激光或355紫外激光小光斑達(dá)12μm　 泵浦源使用壽命：20,000—100，000小時　 冷卻方式：風(fēng)冷　 對焦方式：計算機程序控制　 激光束定位系統(tǒng)：　 激光束運動范圍：75mmX75mm（可選配其他規(guī)格）　 點到點運動時間：5ms（典型）　 較大速度：7000mm/s　 重復(fù)定位精度：2.5μm　 激光束小步進(jìn)：0.76μm　 圖像監(jiān)視系統(tǒng)：　 監(jiān)視方式：激光同軸監(jiān)視　 較大放大倍數(shù)：>100倍　 圖像監(jiān)視顯示屏：19寸液晶　 測量系統(tǒng)：　 激勵方式：電流/電壓激勵　 恒流源：0.01μA~100mA計算機程控選擇　 恒壓源：0~20V計算機程控選擇（可選其它電壓范圍）　 電阻測量方式：四線制加電流測電壓　 直流電壓測量：10mV~10V（滿程電壓）　 調(diào)節(jié)對象發(fā)熱控制：程序可設(shè)定　 電阻測量精度：低阻：<0.05% 1%/R （R<100Ω） 　 中阻：<0.05%　 高阻：<0.05% 0.02%R（R>0.1MΩ）　 電阻測量范圍：0.01Ω-500MΩ　 電阻測量速度：25μs　 直流電壓分辨率：0.16μV（在10mV滿量程條件下）　 探針板：44針11組四線制（可選其它規(guī)格）　 探針板運動：計算機程序控制　 計算機及軟件系統(tǒng)：　 工業(yè)控制計算機（雙核），17寸液晶　 操作系統(tǒng)：Windows XP　 VB平臺開發(fā)的可視化應(yīng)用軟件，界面友好，功能強大　 分步重復(fù)運動系統(tǒng)：　 運動XY范圍：290x260mm　 運動分辨率：1μm　 定位精度：小于6μm（帶誤差補償）　 重復(fù)定位精度：小于3μm 　 較大運動速度：900mm/s　 具有溫度補償?shù)裙δ堋? 非接觸溫度測量：　 溫度測量精度：0.2℃　 調(diào)阻溫度修正：計算機程序控制　 其它技術(shù)指標(biāo)：　 供電電壓：220V AC　 整機功耗：小于1000W　 激光修阻機應(yīng)用和市場： 主要應(yīng)用于厚、薄膜電路的精密調(diào)節(jié)。廣泛應(yīng)用于厚膜混合集成電路，電子元器件，汽車電器，傳感器，科研，片式電阻行業(yè)等。 公司名稱：武漢三工光電設(shè)備制造有限公司 公司地址：湖北武漢東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)武漢大學(xué)科技園武大園四路 聯(lián)系人：陶小姐 電話：027-59722666-8013 手機：15671696583 QQ:1563376021 阿里旺旺：sunic40 慧聰發(fā)發(fā)：sunic40