一、主要特點(diǎn)
主要用于半導(dǎo)體硅晶片檢測(cè)、LCD液晶屏檢測(cè)、實(shí)驗(yàn)室材料分析及其他精密工程檢測(cè)領(lǐng)域,可對(duì)樣品進(jìn)行明場(chǎng)及簡(jiǎn)易偏光觀察。
二、儀器介紹
1)系統(tǒng)采用無限遠(yuǎn)色差正光學(xué)、長(zhǎng)工作距,成像清晰、像面平坦
2)配備反射式柯拉照明系統(tǒng),為不同倍率的物鏡提供均勻充足的照明
3)正像三通觀察筒,30°傾斜,極大的提高了觀察的舒適性與操作的適應(yīng)性
4)配備了4”帶離合器機(jī)械平臺(tái),行程105*105mm,可快速移動(dòng)
5)人機(jī)學(xué)設(shè)計(jì),高剛性鏡臂,“Y”型底座,調(diào)焦機(jī)構(gòu)采用前置式操作控制,粗微調(diào)同軸
6)光源采用寬電壓數(shù)字調(diào)光技術(shù),具有光強(qiáng)設(shè)定與復(fù)位功能
7)可選配攝影攝像裝置、簡(jiǎn)易偏光裝置、干涉濾光片、測(cè)微尺等附件,拓展應(yīng)用領(lǐng)域
三、技術(shù)參數(shù)
光學(xué)系統(tǒng): 無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)
物鏡: 無限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距金相物鏡 5X、10X、20X、50X、80X、
目鏡: 高眼點(diǎn)平場(chǎng)目鏡,PL10X,線視場(chǎng)φ22mm
高眼點(diǎn)平場(chǎng)目鏡,PL15X,線視場(chǎng)φ16mm
觀察筒: 正像,鉸鏈?zhǔn)饺浚?0°傾斜,分光比:雙目,三目
照明系統(tǒng): 反射式柯拉照明,帶簡(jiǎn)易偏光接口,12V/100W鹵素?zé)?,,帶針孔光闌
調(diào)焦機(jī)構(gòu): 粗微調(diào)同軸,帶粗調(diào)上限位、松緊調(diào)節(jié)裝置和隨機(jī)限位裝置
粗調(diào)行程:33mm(焦后1mm),微調(diào)精度:0.001mm
較大樣品高度:32mm
物鏡轉(zhuǎn)換器: 內(nèi)定位、內(nèi)傾式、五孔、明場(chǎng)長(zhǎng)工作距離物鏡轉(zhuǎn)換器
載物臺(tái):4英寸矩形,機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)230mmX215mm,移動(dòng)行程:105mmX105mm
低位同軸調(diào)節(jié),可快速移動(dòng)
機(jī)架: 全新的人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì),高剛性鏡臂,“Y”型底座,前置式操作控制
四:選購(gòu)附件: 攝影攝像裝置、簡(jiǎn)易偏光裝置、干涉濾光片、測(cè)微尺等