Sonoscan AW系列 C-SAM 超聲波掃描顯微鏡
AW系列產(chǎn)品是為晶圓檢測(cè)而設(shè)計(jì)全自動(dòng)系統(tǒng)。高靈敏度和能的優(yōu)勢(shì)可用于多種鍵合的晶圓的評(píng)估,如SOI,MEMS,LED,2.5D和3D。該AW系列可以檢測(cè)兩晶圓間空隙直徑只有5微米以及晶圓分層薄至200埃的間隙。具有兩個(gè)或更多的掃描頭,分段站和干燥站時(shí),AW被設(shè)計(jì)為有效地掃描晶圓并同時(shí)進(jìn)行干燥。
AW 系列-AW200