產(chǎn)品介紹: PV-2000系列無(wú)接觸硅片厚度TTV電阻率綜合測(cè)試系統(tǒng)為太陽(yáng)能/光伏硅片及其他材料提供快速、多通道的厚度、（總厚度變化）TTV、彎曲度及無(wú)接觸電阻率測(cè)量功能。并提供基于TCP/IP的數(shù)據(jù)傳輸接口及基于Windows的控制軟件，用以進(jìn)行在線及離線數(shù)據(jù)管理功能。 產(chǎn)品特點(diǎn)： ■ 使用MTI Instruments的推/拉電容探針技術(shù) ■ 每套系統(tǒng)提供多三個(gè)測(cè)量通道 ■ 可進(jìn)行較大、小、平均厚度測(cè)量和TTV測(cè)量 ■ 可進(jìn)行翹曲度測(cè)量（需要3探頭） ■ 用激光傳感器進(jìn)行線鋸方向和深度監(jiān)視（可選） ■ 集成數(shù)據(jù)采集和電氣控制系統(tǒng) ■ 為工廠測(cè)量提供快速以太網(wǎng)通訊接口，速率為每秒5片 ■ 可增加的直線厚度掃描數(shù)量 ■ 與現(xiàn)有的硅片處理設(shè)備有數(shù)字I/O接口 ■ 基于Windows的控制軟件提供離線和在線的數(shù)據(jù)監(jiān)控 ■ 提供標(biāo)準(zhǔn)及客戶定制的探頭 ■ 提供基于Windows的動(dòng)態(tài)鏈接庫(kù)用于與控制電腦集成 ■ 無(wú)接觸，用渦電流法測(cè)量硅片電阻率 技術(shù)參數(shù)： ■ 晶圓硅片測(cè)試尺寸：50mm- 300mm. ■ 厚度測(cè)試范圍：1.7mm，可擴(kuò)展到2.5mm. ■ 厚度測(cè)試精度： /-0.25um ■ 厚度重復(fù)性精度：0.050um ■ 測(cè)量點(diǎn)直徑：8mm ■ TTV 測(cè)試精度: /-0.05um ■ TTV重復(fù)性精度: 0.050um ■ 彎曲度測(cè)試范圍： /-500um [ /-850um] ■ 彎曲度測(cè)試精度： /-2.0um ■ 彎曲度重復(fù)性精度： 0.750um ■ 電阻率測(cè)量范圍：0.1-50ohm-cm ■ 電阻率測(cè)量精度：2% ■ 電阻率測(cè)量重復(fù)精度：1% ■ 晶圓硅片類型：?jiǎn)尉Щ蚨嗑Ч? ■ 可用在：切片后、磨片前、后，蝕刻，拋光以及出廠、入廠質(zhì)量檢測(cè)等 ■ 平面/缺口：所有的半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)平面或缺口 ■ 連續(xù)5點(diǎn)測(cè)量 典型客戶: 美國(guó)，歐洲，亞洲及國(guó)內(nèi)太陽(yáng)能及半導(dǎo)體客戶。