美國4Wave公司離子束鍍膜和刻蝕系統(tǒng)
產(chǎn)品概述
4Wave成立于2000年，主要人員及技術(shù)均源于美國的離子束技術(shù)公司Commonwealth Scientific。Commonwealth于2000年被Veeco收購后，其主要的技術(shù)及管理高層離開Commonwealth后，重新組建了4Wave公司。4Wave全心致力于研究與應(yīng)用離子束技術(shù)，主要產(chǎn)品為基于離子束技術(shù)的薄膜沉積及刻蝕系統(tǒng)，客戶群覆蓋大學(xué)、國防、先進(jìn)技術(shù)公司等領(lǐng)域。
4Wave技術(shù)
1. 低能高束流離子源
2. 偏壓靶離子束沉積
3. 低能量的離子束刻蝕
產(chǎn)品特點
離子束刻蝕
1. 真空鎖結(jié)構(gòu)可選
2. 單片或行星式裝置
3. 射頻ICP離子源
4. 刻蝕終點監(jiān)測 - 二次離子質(zhì)譜儀
5. 基于PC PLC的自動化控制系統(tǒng)架構(gòu)
離子束沉積
1. 真空鎖結(jié)構(gòu)可選
2. 多靶自動選擇
3. 射頻ICP離子源
4. 輔助沉積/表面預(yù)清洗離子源
5. 晶振和光學(xué)膜厚測量
6. 偏壓靶技術(shù)可選
產(chǎn)品應(yīng)用
1.行星式氣冷刻蝕系統(tǒng)
2.應(yīng)用于磁阻、巨磁阻的離子束沉積系統(tǒng)
3.研發(fā)型和工業(yè)型DLC硬質(zhì)薄膜沉積系統(tǒng)
4.AlN介質(zhì)膜離子束沉積系統(tǒng)
5.應(yīng)用于半導(dǎo)體存儲器鍍層的IBD和IBE系統(tǒng)
6.合金納米涂層濺射系統(tǒng)
7.應(yīng)用于紅外探測器的離子束沉積系統(tǒng)
8.行星式離子銑
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離子束濺射鍍膜機/離子束刻蝕機
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