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簡單介紹
等離子體清洗機(jī)又稱等離子清洗機(jī)，等離子清洗，等離子表面清洗機(jī)，等離子清洗器，等離子清洗儀，等離子活化機(jī)，電漿清洗機(jī)，plasma清洗機(jī)，等離子表面處理器，等離子處理機(jī)，等離子清洗設(shè)備，等離子表面清洗設(shè)備，等離子體表面處理設(shè)備。 ICP等離子體清洗機(jī)采用電感耦合高密度等離子體(ICP)，能快速去除晶圓上之殘留光阻(光刻膠)，達(dá)到晶圓表面潔凈，具有蝕刻率高，無電極污染，離子能量低，不損傷基板等優(yōu)點(diǎn)。
產(chǎn)品描述
>> 產(chǎn)品特點(diǎn)
ICP等離子體清洗機(jī)采用電感耦合高密度等離子體(ICP)，能快速去除晶圓上之殘留光阻(光刻膠)，達(dá)到晶圓表面潔凈，ICP等離子體清洗機(jī)具有蝕刻率高，無電極污染，離子能量低，不損傷基板等優(yōu)點(diǎn)。
>> 應(yīng)用產(chǎn)業(yè)
．殘余光阻去除
．藍(lán)膜殘膠去除
．PSS 來料清潔制程
◆ 設(shè)備外形尺寸(不包括報警燈)
650(W)×900(D)×1600(H)mm
◆ 合金鋁真空倉體(約100升)
450(W)×450(D)×450(H)mm
◆ 電極結(jié)構(gòu)
外置電感耦合電極
◆ 等離子發(fā)生器(美國MKS)
頻率13.56MHZ,功率0-1000W連續(xù)調(diào)節(jié),自動阻抗匹配,全電路保護(hù),可連續(xù)長時間工作
◆ 控制系統(tǒng)
PLC觸摸屏控制,采用歐姆龍、西門子等電器元件，性能穩(wěn)定,并具有手動、自動兩種模式
◆ 真空系統(tǒng)(真空壓力PID閉環(huán)自動控制)
日本愛發(fā)科(ULVAC)機(jī)械真空泵 VDN901 (23L/S)
臺灣氣動真空角閥、充氣閥、DN40不銹鋼真空波紋管、德國英福康壓力傳感器
◆ 充氣系統(tǒng)
美國MKS高精度電子質(zhì)量流量計(四路氣體配制)
美國世偉洛克SWAGELOK氣體管路及接口組件，德國雙級減壓閥
日本SMC及CKD高真空氣閥組件
