Aerotech三軸平臺系統(tǒng) 聯(lián)系人 葉振南 186-0036-4311 gkyezhennan@163.com 自1970年Aerotech開始研制較高性能的運動控制產(chǎn)品和精密定位系統(tǒng)，這些產(chǎn)品廣泛應用于世界范圍內的工業(yè)制造、及自然科學研究等行業(yè)。Aerotech能夠為生命科學及醫(yī)學設備，半導體加工，光子學，數(shù)據(jù)存儲，激光應用，航空和國防，電子產(chǎn)品制造、測試及裝配等行業(yè)的研究和發(fā)展，以及其他需要高精度、高自動化水平的解決方案提供滿足市場應用苛刻要求的高性能精密運動控制產(chǎn)品。 PLANAR HD設計特點 1 較大2 m/s掃描速度和5g加速度的輸出 2的轉向和小的穩(wěn)定時間 3主動偏轉控制 4 直線光柵或激光干涉儀反饋 5 行程1.2 m x 1.2 m 行程≤1200mm 精度±300 nm 重復定位精度±50 nm 分辨率 0.25 nm AGS1000笛卡爾龍門系統(tǒng) 1采用AEROTECH自有無刷直線伺服電機，性能出眾，壽命長 2可靈活配置Z軸和θ軸 3可選機械底座和抬高量 4可選表面鍍鎳以進行ESD保護和醫(yī)療應用 5緊湊設計，整體尺寸小 6是芯片焊接機，引線接合器，WLP和DNA壓型的理想選擇． Travel行程≤500mm Accuracy精度±5.0um(±200uin) Load　負載15kg(33lb) AGS10000笛卡爾龍門系統(tǒng) 1速度高達3米/秒,加速度3g 2采用大推力無刷直線伺服電機 3可靈活配置Z軸和θ軸 4非接觸直線編碼器(光柵) 5可選機械底座和抬高量 6適用于高速拾取/放置,自動化裝配,視覺檢測,點膠機,高精度檢測． Travel行程≤1000mm Accuracy精度±5.0um Load　負載25kg(55.1lb.) AGS20000笛卡爾龍門系統(tǒng) 1速度高達3米/秒,加速度高達5g 2采用雙Y軸,BLMH大推力無刷直線伺服電機 3雙Y軸直線編碼器(光柵) 4為高伺服帶寬較優(yōu)化的機械結構 5世界上較高生產(chǎn)力的龍門系統(tǒng) 6適用于超高速度和加速度,超高的精度和重復精度的場合． Travel行程≤1200mm Accuracy精度±3.0um Load負載30kg(66.1lb) FiberAlign 130US光纖技術系統(tǒng) 1適用于三光學校準 2非接觸直線電機驅動 3運動分辨率2.5nm 4低C.T.E.結構 5對環(huán)境變化不敏感 FiberAlign 90/130 光纖校正系統(tǒng) 1適用于三到六軸光學校準 2直線軸非接觸直線電機驅動,旋轉軸直驅 3運動分辨率2.5nm,角度分辨率0.027-0.058 4交鑰匙工程的驅動和控制系統(tǒng) 5光柵螺旋功率波動運算法則,工業(yè)標準電源線接口 6可選集成視覺系統(tǒng) FiberGlide 3D 光纖定位器 1專為高性能光學校準和裝配設計 2直線編碼器反饋,提供高達2nm的分辨率 3使用Automation3200控制可實現(xiàn)62皮米分辨率 4全預載氣浮導軌(空氣軸承) 5完全非接觸設計 6超平滑的速度控制性能 MaskAlign 1三軸光掩膜校準平臺 26-8英寸掩膜標準接口 3集成真空吸槽以定位掩膜 4輪廓低,易于集成進光學器件隊列 5直接驅動無刷伺服電機 SolarScribe 1現(xiàn)今可用的全面的光電平板雕刻系統(tǒng) 2機械和氣浮軸承的分離軸和龍門式系統(tǒng)適合所有PV/FPD雕刻應用 3直接驅動直線電機平臺 4行程到2.5米 5高系統(tǒng)動態(tài)剛性以高精度 6行業(yè)的控制系統(tǒng),配備基于位置的實時激光開火輸出 7可選單軸或多軸步進軸,多Z軸,集成制動的theta軸,被動或主動隔振,機械底座,控制箱