管式加熱爐主要類型簡(jiǎn)介：按爐體形狀劃分，可以分為:箱式爐、立式爐、園筒爐和無(wú)焰爐等。1、箱式爐有斜頂爐和方箱爐，這種爐型歷史悠久，是應(yīng)用較早的爐型。其長(zhǎng)、寬、高大致接近，輻射室和對(duì)流室用火墻隔開(kāi)，火嘴裝于側(cè)壁，煙囪設(shè)于爐外，爐管水平排列。2、立式爐爐膛為長(zhǎng)方形，輻射管排于爐兩側(cè)，對(duì)流管排在輻射室上部的對(duì)流室中，爐底部設(shè)有兩排火嘴，爐中間砌一堵花墻，噴火嘴在花墻兩邊燃燒。3、圓筒爐與立式爐相似，方型的對(duì)流室位于輻射室上部，煙囪安裝在對(duì)流室的上部，并裝有煙道擋板，可調(diào)節(jié)風(fēng)量，火嘴在爐底中央，火焰向上噴射。其與立式爐不同的是輻射室為圓筒式，輻射管沿圓周垂直排列成一圈，對(duì)流管分立式和水平兩種。4、無(wú)焰爐其外型與立式爐相似，爐中間排輻射管，頂部排對(duì)流管，兩側(cè)爐墻布滿火嘴，燃燒的速度快，在燃燒道里完成燃燒的全部過(guò)程，因此沒(méi)有火焰。主要功能和特點(diǎn)：1、爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料，保溫性能好，耐用，節(jié)能。2、加熱元件采用合金絲，經(jīng)久耐用,溫度可達(dá)1200℃。3、采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，結(jié)合熱感應(yīng)技術(shù)，配有風(fēng)冷系統(tǒng)，使?fàn)t體表面溫度快速降溫。4、采用RK快速法蘭連接，減少了加熱管損壞的可能，取、放物料更加方便快捷。5、上開(kāi)式爐蓋設(shè)計(jì)，可以實(shí)時(shí)觀察加熱的物料，并能迅速降溫，滿足材料驟冷驟熱的實(shí)驗(yàn)需要；6、智能PID高精度控制，自整定功能，30段可編程控制，可設(shè)置30段升降溫程序,實(shí)現(xiàn)了功率無(wú)損耗。7、預(yù)留真空、氣路快速接口，配合我司真空、混氣系統(tǒng)使用；滿足用戶在不同的真空狀態(tài)及不同的氣氛條件下進(jìn)行實(shí)驗(yàn)。8、預(yù)留485轉(zhuǎn)換接口，通過(guò)我司專用軟件，與計(jì)算機(jī)互聯(lián)，可實(shí)現(xiàn)單臺(tái)或者多臺(tái)電爐的遠(yuǎn)程控制、實(shí)時(shí)追蹤、歷史記錄、輸出報(bào)表等功能；9、具有開(kāi)啟斷電，超溫報(bào)警，漏電保護(hù)等安全操作功能。目前，在中國(guó)微波法PECVD系統(tǒng)占據(jù)市場(chǎng)的主流，而管式PECVD系統(tǒng)也占據(jù)不少份額，而島津的板式系統(tǒng)只有5~6條生產(chǎn)線在使用。直流法PECVD系統(tǒng)還沒(méi)有進(jìn)入中國(guó)市場(chǎng)。除了上述幾種模式的PECVD系統(tǒng)外，美國(guó)的AppliedMaterial公司還開(kāi)發(fā)了磁控濺射PECVD系統(tǒng)，該系統(tǒng)使用磁控濺射源轟擊硅靶，在氨氣的氣氛中反應(yīng)濺射，形成SiNx分子沉積到樣品表面。這種技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)是不使用易爆的硅烷氣，安全性提高很多，另外沉積速率很高。如果按照PECVD系統(tǒng)所使用的頻率范圍，又可將其分成以下幾類：■0Hz：直流間接法——OTB公司■40KHz：Centrotherm公司管式直接法PECVD和AppliedMaterial公司的磁控濺射系統(tǒng)■250kHz：島津公司的板式直接法系統(tǒng)■440kHz：Semco公司的板式直接法■460kHz：Centrotherm公司管式直接法■13.6MHz：Semco公司和MVSystem公司的板式直接法系統(tǒng)■2450MHz：Roth