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化學(xué)氣相沉積(CVD)是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用為廣泛的用來沉積多種材料的技術(shù)，包括大范圍的絕緣材料，大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。從理論上來說，它是很簡單的：兩種或兩種以上的氣態(tài)原材料導(dǎo)入到一個反應(yīng)室內(nèi)，然后他們相互之間發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，形成一種新的材料，沉積到晶片表面上。淀積氮化硅膜(Si3N4)就是一個很好的例子，它是由硅烷和氮反應(yīng)形成的。防止煙氣露點腐蝕的措施有些？答：1)采用清潔燃料；2)降低過?？諝庀禂?shù)；3)燃料充分燃燒；4)提高進料溫度使管壁溫度在露點溫度之上(一般露點溫度當(dāng)燃料含硫大于2%取1500C,管內(nèi)介質(zhì)溫度取1350C,面積足夠的情況下煙氣溫度2200C.)；5)提高設(shè)備殼體壁溫(加熱爐90-1000C,FCC再生器1800C)；6)采用耐腐蝕材料:鎳基合金:C-276、C-22、ND鋼,含銅和鉻合金,外涂覆(氟橡膠,搪瓷,高溫涂料,噴不銹鋼 涂料封閉等)；7)添加劑：中和/抑制生成硫酸,如MgO,Mg(OH)2.不僅中和硫,而且中和V5O2；8)爐壁用涂料保護；9)爐隔熱襯里采用致密材料,防止煙氣竄透；管式加熱爐的工作原理是？答：管式加熱爐的工作原理是：燃料在管式加熱爐的輻射室(極少數(shù)在單獨的燃燒室)內(nèi)燃燒，釋放出的熱量主要通過輻射傳熱和對流傳熱傳遞給爐管，再經(jīng)過傳導(dǎo)傳熱和對流傳熱傳遞給被加熱介質(zhì)，這就是管式加熱爐的工作原理。是輻射傳熱、對流傳熱？答：輻射傳熱是一種由電磁波來傳遞能量的過程，所傳遞的能量叫做輻射能，輻射具有微粒性（光子）和波動性（電磁波）兩重性質(zhì)。對流傳熱是液體或氣體質(zhì)點互相變動位置的方法將熱量自空間的一部分傳遞到其他部分。
