適用范圍:電子元件、集成電路、半導(dǎo)體材料、液晶顯示器等生產(chǎn)用超水。
工藝流程:原水→原水箱→原水泵→機(jī)械過濾器→活性炭過濾器→阻垢/軟化裝置→保安過濾器→高壓泵→反滲透→水箱→輸送泵→混床/EDI→紫外除TOC→超化→紫外殺菌→終端過濾→用水點(diǎn)→循環(huán)回水箱
產(chǎn)水水質(zhì):電子級(jí)超水中國標(biāo)準(zhǔn)(GB/T11446.1-1997)
工藝說明:
1、機(jī)械過濾器
主要用于去除水中鐵銹、泥沙、藻類、懸浮物等雜質(zhì),降低水的濁度,使出水濁度小于0.5NTU,CODMN小于1.5mg/L,含鐵量小于0.05mg/L,SDI≤5。可通過控制閥隨時(shí)進(jìn)行反洗、正洗,以沖洗掉其表面的污物,防止其堵塞,恢復(fù)其過濾能力。
2、活性碳過濾器
活性炭具有極強(qiáng)的吸附過濾性能,對(duì)水中的余氯、異色、異味、有機(jī)物等具有很強(qiáng)的吸附作用。由于反滲透膜對(duì)余氯、有機(jī)物十分敏感,所以必須配置活性炭吸附余氯、有機(jī)物,使出水余氯≤0.1mg/L,SDI≤4,滿足反滲透膜的給水要求??赏ㄟ^隨時(shí)控制閥進(jìn)行反洗,以沖洗掉其表面的污物,防止其堵塞,恢復(fù)其處理能力。
3、阻垢裝置(軟化器)
幾mg/L的阻垢劑就能防止幾百mg/L的碳酸鈣沉淀析出。其作用機(jī)理是阻垢劑在水中生成的長鏈的陰離子容易吸附在微小的碳酸鈣晶粒上,同時(shí)這種陰離子易于和CO32