英國HHV公司多功能鍍膜設(shè)備（熱阻蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)和濺射系統(tǒng)）
產(chǎn)品概述
英國HHV公司的HHV Auto系列產(chǎn)品是一種多功能鍍膜設(shè)備（熱阻蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)和濺射可選），設(shè)計(jì)用于滿足科研工作者和電子顯微學(xué)家的需求。
Auto系列可配備各種真空系統(tǒng)、真空腔室和標(biāo)準(zhǔn)化工藝附件，提供一系列實(shí)驗(yàn)技術(shù)以滿足現(xiàn)代化實(shí)驗(yàn)室的需要。
Auto3系列可選擇配置鐘罩式玻璃腔室、圓柱形玻璃腔室，也可以配置通用的FL400前開門式不銹鋼箱式腔室。FL400腔室具有額外的高度與寬度，適用于安裝較多的工藝附件。
客戶可選擇的模塊化工藝附件，包括熱阻蒸發(fā)源及其控制電源、3kW EB3電子束蒸發(fā)源、遮擋板、基片夾具以及膜厚監(jiān)控儀等。
真空系統(tǒng)由觸屏PLC控制和監(jiān)控，易于操作；高真空泵選擇包括擴(kuò)散泵、渦輪分子泵、冷凝泵，并使用油封或干式泵作為支持泵。集成的具有備用電池的高真空閥門可在意外情況時(shí)保護(hù)泵和樣品。
產(chǎn)品特點(diǎn)
觸屏PLC自動(dòng)控制真空系統(tǒng)
多種可選薄膜沉積源和電源
多種可選樣品夾具
多種可選真空腔室
智能高真空閥門保護(hù)泵及樣品
緊湊型設(shè)計(jì)，小化空間占用
無需壓縮空氣
完整的安全使用互鎖保護(hù)
技術(shù)參數(shù)
極限真空
600 l/s 擴(kuò)散泵：2×10E-7 mbar
500 l/s 渦輪泵：2×10E-7 mbar
250 l/s 渦輪泵：2×10E-7 mbar
抽真空時(shí)間
大氣壓到1×10E-5 mbar：4分鐘
大氣壓到1×10E-6 mbar：25分鐘
主要應(yīng)用
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多功能鍍膜機(jī)
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